PI(Physik Instrumente)公司在三大洲設(shè)置了納米計量測試裝置。PI Shanghai和PI USA擁有額外的發(fā)展和制造資源，可實現(xiàn)對定制設(shè)計規(guī)格的快速當(dāng)?shù)胤磻?yīng)。
精密加工到數(shù)字與模擬控制電路，從亞納米級的電容位置傳感器到的PICMA 壓電陶瓷促動器，PI已掌握全套關(guān)鍵技術(shù)，強大的技術(shù)實力推動著微米納米定位技術(shù)不斷地向前沿發(fā)
N-565 帶線性編碼器實現(xiàn)高精度
具有亞納米級編碼器分辨率的NEXACT®壓電步進驅(qū)動器
N-565
具有高精度的線性平臺
? 高精度：小位移為2納米，直接測
量PIOne編碼器的分辨率為0.5納米
? 長行程：13 毫米、26 毫米或52 毫米
? 關(guān)機后自鎖：節(jié)約能量，減少熱量產(chǎn)生
? PiezoWalk技術(shù)帶來長使用壽命和高可靠
性
? 緊湊型設(shè)計：寬為65毫米、高為20毫米
NEXACT參考級線性平臺
帶NEXACT
PiezoWalk驅(qū)動器的線性平臺可在長行程范圍內(nèi)實現(xiàn)納米級高精度定位。其配置直接測量線性編碼器和交叉滾柱軸承
，可實現(xiàn)高精度。
PiezoWalk技術(shù)：高分辨率、低磨損
PiezoWalk技術(shù)將壓電陶瓷促動器與壓電電機的技術(shù)優(yōu)勢結(jié)合在一起。PiezoWalk步進驅(qū)動器不僅能提供亞納米級分辨
率、較大的力和高剛性，而且根據(jù)其驅(qū)動原理，其還能實現(xiàn)理論上無限的行程。不同于其他壓電機動化驅(qū)動器原理，
PiezoWalk步進驅(qū)動器不受滑動摩擦作用的影響。其是基于幾個壓電陶瓷促動器的靜摩擦接觸，這幾個促動器沿一個
動輪步進。靜止?fàn)顟B(tài)下，PiezoWalk步進驅(qū)動器自鎖，不消耗能量，無熱量產(chǎn)生。
帶PIOne線性編碼器用于直接位置測量
高分辨率PIOne編碼器由PI研發(fā)，在對測量數(shù)據(jù)進行相應(yīng)處理后，可實現(xiàn)遠低于1納米的位置分辨率。此外，由于信號
周期短、信號質(zhì)量高，PIOne編碼器的線性誤差小于1 %。PIOne編碼器在研究參考信號時支持方向感應(yīng)。
應(yīng)用領(lǐng)域
樣本操縱、樣本定位、高精度和高穩(wěn)定性光學(xué)或機械部件、半導(dǎo)體行業(yè)中的精密機械部件、顯微操縱、顯微鏡、自動
化、有限空間內(nèi)的應(yīng)用、真空或無磁性環(huán)境中的應(yīng)用。.
