您好, 欢迎来到化工仪器网
等离子清洗机遇到故障时的正确处理
阅读：1891 发布时间：2023-4-17
等离子清洗机也叫等离子清洁机，或者等离子表面处理仪，利用等离子体来达到常规清洗方法不能达到的效果。等离子体是物质的一种状态，也叫做物质的第四态，并不属于常见的固液气三态。对气体施加足够的能量使之离化便成为等离子状态。等离子体的“活性”组分包括：离子、电子、原子、活性基团、激发态的核素（亚稳态）、光子等。等离子清洁机就是通过利用这些活性组分的性质来处理样品表面，从而实现清洁、涂覆等目的。
1.等离子清洗机真空泵热过载?；ぃ爰觳橄呗泛驼婵毡霉收?/span>
①如系统参数无变化，请确认热继电器是否自动保护，按复位键，然后启动真空发生系统。如没有自动?；ぃ爰觳榈缙呗酚形薅下坊蚨搪非榭?。
②出现此情况请先观察系统参数设置有无变化，突然断电会引起系统参数归零，导致设备出现此类报警。
③检查导线是否有断路或短路情况。
④如无上述异常，请检查真空泵。
2.等离子清洗机三相供电相序异常，请更换相序
①有相序?；ぜ痰缙?，如出现此类报警，请更换相序。
3.一路供气压力过低，请检查气体是否开启或气体是否耗尽
4.二路供气压力过低，请检查气体是否开启或气体是否耗尽
3及4是气路控制系统报警，出现此报警请先检查气体是否打开或耗尽。如气体没有问题，请检查设备减压表、气路电磁阀及流量计是否正常工作。检查电气线路是否出现断路或短路。