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| 产地类别 | 国产 | 产品种类 | 电动 |
|---|---|---|---|
| 价格区间 | 面议 | 应用领域 | 综合 |
FMSS系列方台面整体平移台
l行程覆盖38mm、48mm
l?形台面设计
l集成式?体化交叉滚柱导轨
l静音位移台
l免费标准版SDK
l高性能控制器
l可选配EtherCAT总线控制
产品简介
FMSS系列方台面整体平移台：精度高和机身尺寸小兼而有之的运动控制产品非常难于设计。我们经过三年研发，反复测试，终于推出了该系列产品，并成功应?于商业化原子力显微镜。FMSS系列产品采?进口直线电机，集成?体式交叉滚柱导轨和光栅尺，速度均匀性波动在千分之?以内。在保证精度、承载前提下，将体积压缩至最小。
产品应用
l激光打靶
l晶圆打磨
l激光工业
l医美医疗
l高级仪器设备
l原?力显微镜
性能实测
接线定义
电机接?
反馈接?
产品图纸
FMSS90C-38
FMSS125C-48
产品参数
Model | FMSS90C-38 | FMSS125C-48 |
行程(mm) | 38 | 48 |
负载(Kg) | 4 | 10 |
分辨率(μm) | 0.1 | 0.1 |
最?步进量(μm) | 0.3 | 0.3 |
单向重复定位精度/保证值(μm) | ±0.3 | ±0.5 |
单向重复定位精度/典型值(μm) | ±0.2 | ±0.3 |
双向重复定位精度/保证值(μm) | ±0.6 | ±1 |
双向重复定位精度/典型值(μm) | ±0.3 | ±0.5 |
定位精度/保证值(μm) | ±2 | ±2 |
定位精度/典型值(μm) | ±0.5 | ±0.5 |
最?速度(mm/s) | 100 | 100 |
直线度(μm) | 5 | 5 |
平整度(μm) | 5 | 5 |
偏摆(arcsec) | 10 | 10 |
俯仰(arcsec) | 10 | 10 |
持续推力(N) | 6 | 17.6 |
峰值推力(N) | 24 | 88 |
重量(kg) | 1.1 | 2.1 |
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