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YAMATO等离子灰化机，PR500：手动控制 PR510：自动触摸屏控制（PR500/510）

低温等离子的经典款非常具有历史性。采用自动协调功能及触摸屏操作（PR510）,提高了操作性及安全性,是一款小型紧凑型的等离子处理设备。

用途：

• 去除光刻胶
• 部品清洗
• 界面活性处理
• 微研磨
• 硅晶圆，玻璃基板对应

特征：

• 大口径（Φ215mm）石英反应腔
• 小型一体化设计

操作简单的触摸屏方式（PR510型）

技术参数：

PR200/300/301，从样品表面改质到清洗的小型台式等离子清洗机。

 用途：

• YAMATO等离子灰化机高分子材料表面的官能基付与→粘合性、密着性提高。通过氧化反应，在表面生成-OH，＞C=O，-COOH等官能基（微量的水分及二氧化碳影响）。同样在氮气等离子体中，氮原子被吸收在表面中，生成-NH 2等官能基。
• 硅晶圆蚀刻。
• 材料表面改性（金属、聚合物、薄膜、陶瓷等）。
• 石棉预处理（膜过滤灰化）。
• 从电子设备到生化市场。
• 低温灰化（高分子材料、煤炭、食品等）。
• 使用玻璃和PDMS板粘贴PDMS芯片。
• 表面有机物去除。

特点：

• RF为200 W的高性能输出类型（PR200）。
• 由于是尺寸紧凑的台式机，很小的位置都可以安装。
• 同步，自动调谐，操作简单（PR200）。
• 等离子体反应器（灰化设备）（PR200）。
• 同步、自动调谐（PR200）。

技术参数：