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熱式流量控制器（Mass Flow Controller）是基于業(yè)內先進的微機電（MEMS）流量傳感器芯片技術，結合高速采樣處理技術和數字補償算法，所開發(fā)的一款智能化、高精度可進行準確的質量流量控制的氣體質量流量控制器產品。該產品配備有進口電磁比例閥、316L不銹鋼氣路座、高精度微機電流量芯片等，具有精度高、響應速度快、穩(wěn)定性好等特點。操作使用方便，可任意位置安裝，廣泛用于電子工藝設備、真空鍍膜、石油化工、冶金、制藥、光纖熔煉、分析測量儀器、制氣配氣等行業(yè)。輸出信號可選擇：4-20mA和1-5V模擬信號，以及RS485等數字通信方式。
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熱式流量控制器產品特點 Feature
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熱式流量控制器?產品規(guī)格
參數說明 | |
介質要求 | 潔凈干燥無腐蝕性氣體 |
介質種類 | 空氣、氮氣、氬氣、二氧化碳、氦氣、氫氣、甲烷、氧氣等 |
量 程 | 0-50/100/500/1000SCCM，0-5/20SLM |
精 度 | 1% F.S. |
分辨率 | 至低0.01SCCM |
響應時間 | ≤1S |
環(huán)境條件 | |
介質溫度 | 0~50℃ |
工作溫度 | -20~70℃ |
工作濕度 | 10%~90%RH（無結冰，無凝露） |
工作壓力 | 0~1MPa |
儲存溫度 | -20~85℃ |
電氣參數 | |
供電電壓 | DC24V，紋波 ≤50mV |
功 耗 | 2.4W |
啟動時間 | <1S |
預熱時間 | <10mS |
通信接口 模擬信號（電流、電壓） | |
接口類型 | D-SUB 9針 |
電流信號 | 4-20mA (線性對應量程) |
電壓信號 | 1-5V (線性對應量程) |
數字信號（RS485） | |
接口類型 | RJ45、D-SUB 9針 |
通信速率 | 4800,9600(默認),14400,19200,38400,56000,57600,115200, 128000,230400,256000,460800,500000（可通過指令或者上位機修改） |
協(xié) 議 | RS485（默認Modbus-RTU，可定制私有協(xié)議） |
設備地址 | 1(默認)-250(可通過指令或者上位機修改) |
大節(jié)點數 | 250 |
機械參數 | |
接頭類型 | 卡套：8mm、12mm、 3/8 inch，快插：6mm，8mm，其它可選 |
主體材質 | 底座：316L不銹鋼，外殼：碳鋼 |
密封材質 | FKM氟橡膠 |
重量 | 0.75kg |
尺寸圖 Dimension
安全使用
產品用于有害氣體或易炸性氣體時，須嚴格按照產品使用說明或咨詢公司技術人員。有關產品應用的新信息，請與廠家聯(lián)系索取或訪問公司網頁。強腐蝕性或氟化物氣體可能影響產品正常工作，甚至對產品造成毀損。產品經過密封處理并在裝箱前進行過防漏試驗，在高壓下使用必須按照產品使用說明的限制，否則會導致泄漏及安全問題。
注意：未經公司許可，任意改動或不當使用本產品可導致不可預見的損壞、人員傷害及其它有害后果，公司將不負任何責任。
產品保修
產品必須在說明書規(guī)定的正常工作條件下，嚴格按照正確的方法安裝、使用并維護保養(yǎng)。產品質量保證期，從發(fā)貨之日起提供365天免費保修。維修或更換的產品，保修期為 90 天或延續(xù)原保修期（以更長者為準）。
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注意，下列情況不適用保修條款：
1）產品被改變、改裝、處于說明書規(guī)定的(或之外的)不正常環(huán)境及其它任何可被視為非正常使用的情況；
2）非本公司原裝產品。
對于產品拆封后的包裝箱體、填充材料、防靜電袋等廢棄物，請按照紙張、塑料和其他垃圾進行分類處理。對于達到使用壽命的產品，請參照國家對電子電器產品的相關報廢規(guī)定進行處理。
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