VCR音速喷嘴计量模组ZEX-VCR音速喷嘴(限流孔板)计量模组概述

ZEX-VCR 微米级超纯特气限流音速喷嘴模组,是一款应用于气体流量限流 和定量的场合,其主要特点就是精度高,耐高温和高压等,目前应用于特纯气体的限流控制,和正压法音速喷嘴的标定/校准等设备制造，

具有超过的耐温性能 正常工作温度可到达200C,结构采用硬质钨钢 与外壳不锈钢采用铜粉高温熔接技术,保证长时间高温下使用焊接可靠。目前生产的临界音速喷嘴已经用于某航空航天高温测试平台。

VCR音速喷嘴计量模组产品特点:

微米级的激光加工技术,精度更高

采用硬密封技术 无橡胶 密封件不存在气体吸附的问题基于音速喷嘴临界流音速喷嘴工作原理设计 应用技术成熟

技术参数:

流量范围:5~5000mL/min

口径范围:10~200um

压力范围:0.5-4MPa

ZEX-SNMAG2110)051

喷芯材料:CVD(人造钻石)/硬质钨钢

结构材料:316L

VCR音速喷嘴计量模组应用行业:半导体 光学镀膜 空气挥发物 VOC分析等其他特气控制领域