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上海睿丹自动化仪表有限公司
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半导体气体分析仪

参  考  价面议
具体成交价以合同协议为准

产品型号OPTI-Sense系列

品       牌其他品牌

厂商性质生产商

所  在  地上海市

更新时间：2025-01-14 19:37:40浏览次数：1211次

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产地类别 进口 价格区间 面议
仪器原理 其他原理 仪器种类 在线式
应用领域 环保,生物产业,能源,电气
半导体气体分析仪OPTI-Sense系列传感器建立在非色散红外测量法基础上，能够精确测量半导体应用中产生的特种气体的红外光谱吸收。该仪器设计紧凑，且无移动部件，适合在半导体工业流程中用于连续的...

半导体气体分析仪OPTI-Sense系列传感器建立在非色散红外测量法基础上，能够精确测量半导体应用中产生的特种气体的红外光谱吸收。该仪器设计紧凑，且无移动部件，适合在半导体工业流程中用于连续的...

内置的诊断系统包含在软件当中。全部OPTI-Sense系列传感器都配有模拟和数字交互，使得它们可以简单的整合进任何工业流程。

半导体气体分析仪支持的气体

SiF4
CF4
SiF3
SF6
CO
NF3
CO2
WF6
和其他气体

半导体气体分析仪规格参数
测量原理 ：非色散紫外吸收法 
应用 ：现场测量 
光源 ：脉冲红外发射器 
材料 ：抗腐蚀的光学元件, 
           不锈钢接触液体的部件 
尺寸 (高x宽x长) ：5.00" x 8.75" x 3.25" (包含光源和探测器) 
重量 ：< 5 lbs 
模拟输出 ：出厂设置为 0 – 1, 5, 或 10 volt 
数字交互 ：RS-232 C和可选的GUI交互 
响应时间 ：< 10秒 
电源 ：15 VDC – 小于 10 瓦特 (可选AC 电源) 
采样端口 ：KF16 – 304 SS (可选其他选项) 
校零 ：支持远程校零 
漏气测试 ：真空密封测试 
软件 ：嵌入 (标准) - Labview GUI 交互(可选) 
认证 ：CE 
保修 ：1 年

半导体气体分析仪特征
NDIR 非色散红外测量法
适用于任何吸收红外光的气体
响应时间快
高敏感度
气体特异性
无耗材
无移动部件
GUI LabView软件(可选)


 



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