目录:上海波铭科学仪器有限公司>>光谱系统>>显微缺陷膜厚>> 高速相位差测量装置 RE-200
● 相位差（ρ[deg.], Re[nm]）
● 主轴方位角（θ[deg.]）
● 椭圆率（ε）?方位角（γ）
● 三次元折射率（NxNyNz）
● 位相差膜、偏光膜、椭圆膜、视野角改善膜、各种功能性膜
● 树脂、玻璃等透明、非均质材料（玻璃有变形，歪曲等）
● 什么是RE-200
● RE-200是光子结晶素子（偏光素子）、CCD相机构成的偏光计测?？楹屯腹钠夤庋迪嘧楹?，可高速且高精度的测量位相差（相位差）、及主轴方位角。CCD相机1次快门获取偏光强度模式，没有偏光子旋转的机构，系统整体上是属于小型构造，长时间使用也能维持稳定的性能。
执行拟合/傅立叶变换以计算椭圆度 ε 和方位角 γ。
| 型号 | RE series |
|---|---|
| 样品尺寸 | 最小10×10mm ～最大100×100mm |
| 测量波长 | 550nm （标准仕样）※1 |
| 相位差测量范围 | 约0nm ～约1μm |
| 轴检出重复精度 | 0.05°（at 3σ） ※2 |
| 检出器 | 偏光计测?？?/td> |
| 测量光斑直径 | 2.2mm×2.2mm |
| 光源 | 100W 卤素灯或 LED光源 |
| 本体?重量 | 300(W) × 560(H) ×430（D) mm 、约20kg |
Option
● Rth测量、全quan方位角测量※治具本体（旋转：180°, 倾斜：±50°）
● 动旋转倾斜治具
视角改善膜A
视角改善膜B
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