几种常见的近红外光谱仪
一、滤光片型微型近红外光谱仪
滤光片型微型近红外光谱仪按照滤光片类型又可分为基于可调谐滤光片型光谱仪和基于线性滤光片型光谱仪??傻餍陈斯馄臀⑿徒焱夤馄滓潜局适欠ú祭?珀干涉仪:由上下镜和一个介质层(谐振腔)构成,通过对上下镜施加静电驱动电压来调节谐振腔厚度,实现连续可调滤波。线性滤光片型微型近红外光谱仪的基本原理则是通过锥形腔层的厚度变化进行快速分光。其基本元件分别为可调谐法布里-珀罗滤光片和线性渐变滤光片
二、色散型微型近红外光谱仪
色散型微型近红外光谱仪主要通过光栅分光,其中包括通过改变光栅角度进行色散,并通过单元探测器依次获取光谱不同波段信息的扫描光栅型微型近红外光谱仪,和通过采用阵列检测器直接获取光栅不同波段光谱信息的阵列检测型微型近红外光谱仪。其中光栅扫描型微型光谱仪的核心元件是扫描光栅。入射光经光纤进入、准直后,扫描光栅不断改变角度,将光色散后成像,依次通过狭缝被单管探测器收集。
三、调制型微型近红外光谱仪
傅里叶变换型微型近红外光谱仪
傅里叶变换型微型光谱仪基于傅里叶变换和光的干涉原理,属于调制变换型光谱仪,又细分为:空间调制傅里叶变换微型近红外光谱仪和时间调制傅里叶变换微型近红外光谱仪。前者的核心元件为层状光栅干涉仪,通过光栅空间位置的改变得到光程差序列,进而实现干涉信号空间调制。后者的核心元件为迈克尔逊干涉仪,由驱动器控制反射镜的空间运动,以获得不同时间上的干涉调制图,再利用单管探测器对干涉光进行探测后再经傅里叶变换得到光谱信号。
四、其他微型近红外光谱仪
基于MOEMS与MEMS技术的微型近红外光谱仪
微光机电系统(MOEMS)与微机电系统(MEMS)基于半导体微加工技术,实现器件微型化,基于该技术制作的微型光谱仪体积小、测量准、扫描快、低成本、高灵敏,也是近年来的研究热点。
五、新材料微型近红外光谱仪
除了以上几种常见的微型近红外光谱仪,还有一些使用新材料研制的微型光谱仪。