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產(chǎn)品簡介
詳細介紹
Hartmann-Shack波前傳感器/波前分析儀是專用于激光束性能的綜合表征，對激光輻射傳播行為預測以及光束質(zhì)量因子M2的確定，從同時記錄強度和相位分布光束質(zhì)量可以通過菲涅耳-基爾霍夫積分計算沿光束路徑的任何位置，特別是焦平面。
Hartmann-Shack波前傳感器系統(tǒng)基于微透鏡陣列，將入射波分散成大量的次級光波。用相機檢測每個獨立聚焦點的強度和位置，通過單次測試便能重構光束剖面和波前。
主要功能
光束傳播（NIR~EUV）
基于ISO光束參數(shù)分析
M2光束質(zhì)量因子實時測量
聚焦性能檢測
光學測試/Zernike分析
主要特點
單次測試可獲得所有光束參數(shù)
光譜范圍: 1100nm~1nm
動態(tài)范圍：up to 100λ
靈敏度：<100pm
多種規(guī)格微透鏡陣列和相機可選
客戶方案定制
光束測試軟件
測試基于ISO標準
Parameter | Standard |
Beam diameter光束直徑 | ISO 11146 |
Divergence | ISO 11146 |
Beam profile光束剖面 | ISO 13694 |
Pointing 指向/ pos. Stability位置穩(wěn)定性 | ISO 11670 |
M2 質(zhì)量因子/ Focusability聚焦性 | ISO 11146 |
Wavefront 波前 / Phase distribution相位分布 | ISO 15367 |
Coherence 相干 | - |
Around 20 various camera types are supported |