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菲佐干涉儀是干涉儀之一，常用于平面和球面的常規(guī)測量。它可用于測量平面、棱鏡、透鏡等光學(xué)部件，或軸承、密封面或拋光陶瓷等精密金屬部件?？墒褂渺o態(tài)條紋分析軟件進行測量。干涉儀基本上配有高光學(xué)質(zhì)量（λ/20）的基準(zhǔn)平面。測試表面的反射與參考平面的反射發(fā)生干涉，產(chǎn)生條紋。條紋的形狀和質(zhì)量取決于測試平面的表面質(zhì)量。使用高分辨率 CCD 相機對條紋進行數(shù)字化處理。

                                                                                            規(guī)格

最大樣品尺寸：≤ 100 毫米

參考光學(xué)鏡組：可接受 任何標(biāo)準(zhǔn)卡口支架

精度： ≤ λ/20 PV

激光源：DPSS 5.0 mW / 632.8 He-Ne 激光器

光束擴展器： 帶針孔的 60 倍 顯微鏡物鏡

準(zhǔn)直透鏡：焦距 500 毫米，直徑 100 毫米的消色差透鏡

對準(zhǔn) ： 基于相機

攝像頭 1：300 萬像素 CCD，分辨率可選

攝像頭 2：500 萬像素 CCD，分辨率可選

分析：使用 邊緣分析軟件（開放邊緣和快速邊緣）

重量：約 25 千克

電源：220 伏，50 赫茲

平移臺： 帶光學(xué)編碼器的手動 線性平移臺

行程和分辨率： 行程長度為 1200 毫米，分辨率為 2 微米

編碼器輸出：帶 計算機接口和軟件

光學(xué)設(shè)置

空間濾波器組件和正消色差透鏡用于擴大和準(zhǔn)直氦氖激光。準(zhǔn)直透鏡之后是固定的參考平面。光線從參考平面反射回來。在擴束器附近放置一個立方體分光鏡，將反射光反射到變焦鏡頭和 CCD 上。其中一部分反射光落在用于對準(zhǔn)模式的相機 1 上。來自測試樣品的反射光也沿著相同的路徑反射并相互干擾。