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LT-I 系列干涉测厚传感器全面产品介绍

一、产品概述

二、核心优势（产品亮点）

1. 超高精度

• 重复精度达 1nm，线性误差 ±20nm，实现纳米级厚度测量。

• 非接触式测量，避免接触损伤样品表面。

2. 超快速度与宽范围

• 最高 10kHz 采样频率，满足高速动态测量需求。

• 超大测厚范围：常规型号厚度测量范围 1μm~2500μm（折射率 1.5 时），适配不同薄膜厚度场景。

3. 环境适应性强

• 抗干扰能力强，不受电磁干扰影响。

• 宽范围工作距离，部分型号建议安装距离 5-10mm，兼容复杂工况。

• 零发热探头设计：探头内部无电子元件，避免发热导致的夹具变形和光轴偏移，确保长期稳定测量。

4. 光源技术升级

• 超高亮度彩色激光光源：通过蓝光激发荧光体生成多色光，较传统白色 LED 光源，发光波段更广、亮度更稳定，提升干涉信号解析精度。泓川科技国产纳米级白光干涉测厚仪

三、测量原理

1. 光源发射：白色点光谱经干涉探头照射到样品表面，薄膜上下表面反射光（反射光 1、反射光 2）产生相位差，形成彩色干涉条纹。

2. 信号解析：通过解析干涉条纹的相位差与光程差关系，计算薄膜厚度（厚度与相位差直接相关）。

3. 非接触测量：无需接触样品，通过光谱信号处理实时获取厚度值。

四、技术参数与型号配置

五、典型应用场景

1. 电子行业：触摸屏 ITO 膜厚测量、UTG 超薄柔性玻璃厚度检测。

2. 新能源：锂电隔膜厚度在线监测、光伏薄膜均匀性检测。

3. 材料科学：PET 多层膜材厚度分层测量、光学涂层厚度控制。

4. 精密制造：半导体晶圆薄膜沉积厚度监控、微纳结构表面形貌分析。

六、配套支持

1. 软件与开发：

• 上位机软件 TSConfocalStudio，支持实时数据显示与分析。

• 提供 C++/C# 二次开发包，便于集成至自动化产线。

2. 硬件适配：

• 支持编码器触发与脉冲 / 电平触发输入，兼容多种工业控制信号。

• 模拟信号输出（±10V 电压 / 4~20mA 电流）与数字信号输出（警报、比较器），满足不同设备接口需求。

七、产品设计亮点

• 紧凑轻量化：最小探头直径仅 6.35mm，适合狭小空间安装。

• 光纤设计：光纤接头预留距离 100mm，静态 / 动态弯曲半径分别为 30mm/60mm，提升布线灵活性。

• 长期稳定性：无发热探头结构，避免温度漂移影响，确保高精度持续测量。

总结