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详细介绍
日本sanyu electron台式快速涂布机SC-701MkⅡ
特征
- 直流溅射类别中系列中小的超紧凑机型
- 小型溅射装置，可以轻松地制造电极薄膜
- 标配间歇溅射功能
- 使用专yong的样品台和载物台可以轻松更改TS之间的距离。
应用/结果示例
- 各种设备的电极膜附件
- 用于制造反射薄膜等的应用?
日本sanyu electron台式快速涂布机SC-701MkⅡ
基本规格
| 阴极 | φ2英寸/平板型电极 |
| 溅射靶 | 包含金靶 |
| 气体导入机制 | 针阀 |
| 间歇功能 | 标配 |
| 真空泵 | 直连式旋转泵：20l / min（带自动泄漏） |
| 箱体尺寸 | 内径φ90mmx D90mm（SUS制） |
| 样品交换方法 | 前门开合式 |
| 尺寸（宽/深/高） | 主体：160/326 / 286mm RP：300/160 / 200mm |
| 重量 | 身体：10公斤RP：9公斤 |
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