日本stil双重技术光谱共焦点传感器STIL-DUO

STIL DUO ---双重技术“点”传感器

Ø *yi个提供两种同时测量技术的系统：光谱共焦原理 和 具备原始共焦设置的白光干涉原理。
Ø STIL的光谱共焦原理可测量范围从130µm到42mm。非常适用于粗糙度和表面形貌测量，在任何类型的材料上都可获得非常高的精que度，无论是反射还是散射。测量符合新ISO25178标准。
Ø STIL的共焦光谱干涉测量法，可获得亚纳米分辨率（<1nm）的厚度和形貌测量结果，可在大于100µm的测量范围内进行测量，且样品的小可测厚度为0.4µm。
Ø 完美适用于工业环境，许多输入和输出以及软件开发套件，接口非常简单。?

1. l 白光光谱干涉模式

- 振动不敏感（OPILB-RP光学笔）

- 高信噪比（OPILB-RP光学笔）

- 不需垂直扫描

- 小可测厚度0.4µm

- 光学原理固有的亚纳米分辨率

- 共焦使相邻点之间无干扰，

- 厚度测量上具有卓yue性能（0.3nm分辨率，10nm精度

1. l 光谱共聚焦模式

- 使用Multipeak软件进行多层样品测量

日本stil双重技术光谱共焦点传感器STIL-DUO

参数

Ø *yi个提供两种同时测量技术的系统：光谱共焦原理 和 具备原始共焦设置的白光干涉原理。
Ø STIL的光谱共焦原理可测量范围从130µm到42mm。非常适用于粗糙度和表面形貌测量，在任何类型的材料上都可获得非常高的精que度，无论是反射还是散射。测量符合新ISO25178标准。