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超痕量水分仪在半导体制造前端工艺上的运用
阅读：875 发布时间：2024-1-19超痕量水分仪在半导体制造前端工艺上的运用
超微量水分计“FalconTrace"采用球型SAW传感器，可定量测量工业气体和天然气中所含的微量水分子。
响应速度极快，可以实时监测水分含量的变化，还可以测量水分含量和背景气体成分分析两项?？梢跃凡饬科逯械乃峙ǘ?，低至 1 ppb（十亿分之一）水平。
球声表面波传感器的测量原理
① 叉指换能器（IDT）产生表面声波
② 表面声波在球的赤道上循环，对所涂
敏感膜的微小变化做出反应 通过异形电极进行检测
④ 通过积分微小变化实现高灵敏度传感通过多次轮换。
介绍示例/应用
半导体制造设备制造商
（主要是前端工艺）蓄电池制造商及其
材料制造商的制造流程工业气体制造商
产品阵容
响应速度极快，可以在几秒钟内监控水分含量的变化，这对于稳定半导体和二次电池制造过程中的产品产量和质量非常有用。
无需重新配置每种背景气体，当天然气等成分出现波动时，可以同时检测。另一个主要优点是传感器材料是水晶球，使其耐腐蚀、重量轻且易于携带。
FT-700WT
该系列中的顶级型号，实现“超"微量水分测量
测量范围广泛的露点，从-110℃到-20℃
除了露点测量之外，还以%水平检测背景气体*的成分（相当于平均分子量）
*背景气体：水分含量测量的目标气体该装置涵盖从天然气到高纯度气体的所有气体。
应用实例
工业气体制造过程和运输过程中的质量控制、半导体制造材料气体的纯度控制
FT-400WT
中档型号，可实现中档实时测量。
1秒内测量从-90℃起的露点变化，非常适合测量实时控制系统
也可以更改为设备内置型*
*请联系我们。
应用实例
一般生产线的质量控制、电池制造过程中的水分含量监测
FT-300WT
小型通用机型，在保持高速响应的同时强调便携性。
1秒内测量从-70℃起的露点变化，同时支持实时测量系统
轻而小，仅重2公斤，方便携带至目标区域
由于电池供电，可在没有市电的地方使用
应用实例
干燥箱、空间水分分布、一般气体