目前，臭氧是水处理中常用的灭菌方法。高压放电电离氧法获得的臭氧对病毒、细菌等微生物的杀灭率和速度高，可*去除有机污染物，无二次污染。臭氧发生器与水结合形成的臭氧水可用于医药、食品加工等行业的管道、生产设备、包装容器的浸泡清洗，达到消毒灭菌的目的。用高浓度臭氧水浸泡洗涤，次要作用是洗涤去除管道、设备、容器表面的大量细菌和病毒，使用简单，在制药生产和食品加工中不形成死角，避免了生产中使用化学消毒剂造成的化学有毒物质排放和残留污染等环境问题。

控制臭氧消毒操作的因素有四个：①流量，即单位时间内的臭氧流量和水流量；②臭氧与水的接触面积；③单位时间内水和臭氧的流量；④高压放电技术中臭氧发生器与水的接触时间。

二次供水消毒用臭氧发生器设备必须经历从气相到液相的传质过程，以及液相臭氧与水中微生物接触的反应过程。该过程在臭氧和水的接触反应装置即臭氧混合塔中完成。搅拌装置包括空气分布器、喷嘴、管道搅拌等。在处理由传质速度控制的污染物时，应选择传质效率高的设备，如螺旋混合器、螺旋给料机、水嘴等。用化学反应器控制污染物去除速率时，选择接触反应装置，使溶解氧深度长时间保持一定。比如气泡接触氧化塔，可以适应臭氧与污染物之间缓慢的化学反应，达到分解降解污染物的目的。

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