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臭氧氣體的產生方法主要有電暈、電解、紫外線、核輻射、等離子體等。臭氧發(fā)生技術已經在食品、醫(yī)院、醫(yī)藥企業(yè)投入使用，主要有電暈放電法和電解法。用于生活飲用水處理的臭氧發(fā)生器一般是通過靜電放電的方式從氧氣或空氣中產生臭氧，臭氧發(fā)生器就是根據這個原理制造的。利用臭氧和氧氣沸點的差值法，通過分餾液化可以得到濃縮臭氧。雙原子氧通過電子輻射或暴露在紫外線輻射下自然產生臭氧。工業(yè)上用空氣或氧氣干燥，無聲放電，交流電壓5~25kV制成。此外，臭氧也可以通過低溫電解稀硫酸或加熱液氧獲得。該產品與空氣式臭氧發(fā)生器的區(qū)別在于，它一般采用封閉式結構，臭氧發(fā)生濃度高。臭氧產生后，通過氣水混合裝置，通過管道將臭氧溶解在水中使用。由于臭氧的產生條件和部件的使用壽命要求，一般采用空氣源干燥系統(tǒng)，這樣可以對空氣進行預處理或使用高濃度氧源，這主要是因為臭氧的產生與空氣干燥性能密切相關。