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Beam Imaging离子枪系统真空组件

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更新时间:2024-12-13 08:10:28浏览次数:611次

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应用领域 综合
Beam Imaging离子枪系统真空组件
提供两种离子枪系统类型
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Beam Imaging离子枪系统真空组件


Beam Imaging Solutions (BIS) 提供两种离子枪系统类型。每个喷枪都包括一个离子源组件、散热器、加速和聚焦系统、垂直偏转板、一个 6 英寸长的速度过滤器和一个速度过滤器?;せ房刂频ピ?。组件组装在装有法兰的真空外壳中,用于安装到客户的设备上。?;せ房刂频ピ梢园沧暗奖曜嫉?19 英寸机架面板中。如果需要,可以订购定制法兰和附加端口。当喷枪需要光束减速器时,包括一个适配器法兰(型号 G-1-D 和 G-2-D 离子枪)。Beam Imaging 还为上述离子枪系统提供控制单元(E 系列)??刂频ピú僮骼胱优缜顾璧乃械缭匆约坝糜诶胱釉春驼婵占瓶刂频睦淙醋爸谩K欣胱邮榧部傻ザ阑虺商滋峁ɡ胱釉?、散热器、速度过滤器、提取和聚焦透镜系统)。这些完整的套件称为离子束套件。

离子枪 G-1 和 G-1-D 型(不可烘烤)

G-1 型可在 500 eV 至 10 keV(可选 20keV)的能量范围内运行。如果需要小于 500 eV 的离子束能量,我们建议使用 G-1-D 型,其中包括 400 型或 450 型减速器,可以产生能量低至 1 eV 的质量选择离子束。G-1 系列型号的真空外壳由抛光不锈钢管制成,直径为 6 英寸,长约 19 英寸。长度包括 500 型绝缘子安装法兰。G-1-D 的总长度为 23 1/8 英寸,与 400 型或 450 型减速器一起使用。两个离子枪外壳都配有一个 6“ ID 粗加工端口。G-1 和 G-1-D 型的标准出口法兰是 8 英寸外径和 6 英寸内径的同平法兰。然而,G-1-D 型在与减速器一起使用时有一个 2 3/4 英寸的出口法兰(仅限 400 型)。G-1 和 G-1-D 型都适合真空至 10-7Torr 的 Var,而不是为 bakeout 设计的。

Beam Imaging离子枪系统真空组件

离子枪 G-2 和 G-2-D 型(可烘烤)

G-2 和 G-2-D 离子枪均设计为在 500 eV 至 10 keV(可选 20keV)能量范围内运行。然而,G-2-D 离子枪有可选的 400 型或 450 型减速器,可在低至 1 eV 的电压下使用。G-1 和 G-2 系列离子枪之间有两个区别。G-2 离子枪设计为可烘烤至 200oC,用于超高真空 (UHV) 系统。速度过滤器上的磁线圈封装在不锈钢护套中,并采用液体冷却,因此允许更高的电流和磁场强度。BIS 建议使用 CU-1 冷却装置进行磁体和离子源冷却。G-2 和 G-2-D 的尺寸分别与 G-1 和 G-1-D 相同。G-2 和 G-2-D 的设计都适合真空到 10-9托。


技术信息

分辨率

米/天 米 ~ 400

离子电流

高达 20 微安聚焦,100 微安非聚焦

离子源 (DC)

灯丝 16 V – 20 A,阳极 0 – 150 V,0.4 A

离子源 (RF)

0-500 瓦,13.56 MhZ

镜头系统

0 – 10 kV,1 mA 加速电压,0 – 10 kV,0.5 mA 聚焦电压

垂直偏转板

0 – 400 伏,1mA

Velocity Filter Magnet

G-1 型:9.5 V,3 A,G-2 型:28 V,14 A 连续运行

速度过滤器偏转板

0 – 350 V, 50 mA (浮动输出)

G-1、G-1-D、G-2、G-2-D



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