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特點(diǎn)和優(yōu)勢(shì)

TM D9650 C-SAM®

超聲波顯微鏡的現(xiàn)代標(biāo)準(zhǔn)

® 精準(zhǔn)的C-SAM 檢測(cè)并具有最大的靈活性

D9650是現(xiàn)代超聲波顯微鏡(AM)的標(biāo)準(zhǔn)，和上一代產(chǎn)品一樣提供了較好的精度和穩(wěn)健性，增加了一個(gè)合并

TM 了PolyGate 技術(shù)和Sonolytics 的改進(jìn)型的電子與軟件平臺(tái)。D9650適用于故障分析、工藝開(kāi)發(fā)、材料特

性描述及低容量生產(chǎn)環(huán)境。

TM

Sonoscan的定量B-Scan分析模式(Q-BAM)為PEM提供

了虛擬橫截面視圖，并且能保留并顯示圖像數(shù)據(jù)的幅值及極性

TM 帶有Multi-Gate 及Probing-Gate 功能的PolyGate 技術(shù)

可以進(jìn)行單一及多層自動(dòng)聚焦成像

每頻道多達(dá)100個(gè)Gates

TM Windows 10 Sonolytics 2 界面，64字節(jié)處理能力

線性馬達(dá)掃描儀可掃描JEDEC托盤(pán)

帶有塔式安裝掃描參考平臺(tái)及樣品定位架，更加精準(zhǔn)

方便使用掃描區(qū)域使安裝、拆卸更加方便，可以掃描JEDEC

托盤(pán)或300mm晶圓片

定量的B-Scan是Sonoscan分析模式(Q-BAM)

B-Scan模式提供了虛擬橫截面視圖，并帶有準(zhǔn)確的極性、幅值和深度數(shù)據(jù)