FIB雙束掃描電鏡是一種結合了聚焦離子束和掃描電子顯微鏡的高精度微納加工和分析設備。它的主要組成部分包括以下幾個部分：
1、離子源：FIB系統(tǒng)是FIB雙束掃描電鏡的核心部分，用于產(chǎn)生離子束。離子源通常采用電子轟擊或液態(tài)金屬源等方法產(chǎn)生離子。
2、離子透鏡系統(tǒng)：離子透鏡系統(tǒng)由一組電磁透鏡組成，用于對離子束進行聚焦和調節(jié)。通過離子透鏡系統(tǒng)，可以實現(xiàn)對樣品表面的精細加工和成像。
3、樣品室：樣品室是放置待加工和觀察樣品的空間。樣品室通常采用高真空環(huán)境，以減少氣體分子對離子束的影響。
4、掃描器：掃描器負責控制離子束在樣品表面的掃描路徑。掃描器通常采用電磁偏轉器或壓電陶瓷等方式實現(xiàn)離子束的精確掃描。
5、檢測器：檢測器用于收集從樣品表面反射、散射或產(chǎn)生的信號。常見的檢測器包括二次電子探測器、X射線能譜儀等。
6、電子槍：電子槍用于產(chǎn)生一束高能量的電子束，作為SEM的光源。電子束經(jīng)過一系列電磁透鏡的聚焦和調節(jié)后，照射到樣品表面，產(chǎn)生二次電子等信號。
7、信號處理系統(tǒng)：信號處理系統(tǒng)負責對接收到的信號進行處理和分析，以獲得樣品的形貌、成分和結構等信息。
8、控制系統(tǒng)：控制系統(tǒng)負責整個FIB雙束掃描電鏡的運行和參數(shù)調節(jié)。用戶可以通過控制系統(tǒng)實現(xiàn)對離子束的能量、電流、掃描速度等參數(shù)的調節(jié)，以及對樣品的加工和觀察操作。
9、真空系統(tǒng)：真空系統(tǒng)負責維持整個高真空環(huán)境。真空系統(tǒng)通常包括機械泵、渦輪分子泵、真空閥等部件。
10、計算機系統(tǒng)：計算機系統(tǒng)負責控制整個FIB雙束掃描電鏡的運行，以及數(shù)據(jù)處理和圖像重建等功能。計算機系統(tǒng)通常采用高性能的工業(yè)控制計算機，并配備專門的軟件系統(tǒng)。
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