亚洲精品综合日韩中文字幕网站_精品综合久久久久97_中文在线天堂网www_久久精品免费一区二区三区_91久久国产综合精品女同国语_久久资源总站在线国产成人

您好, 歡迎來到化工儀器網(wǎng)

| 注冊| 產(chǎn)品展廳| 收藏該商鋪

18675835857

technology

首頁   >>   技術(shù)文章   >>   想知道外延層厚度就要先知道外延層指的是什么

布魯克（北京）科技有限公...

立即詢價

您提交后，專屬客服將第一時間為您服務(wù)

想知道外延層厚度就要先知道外延層指的是什么

閱讀：876      發(fā)布時間：2022-9-19
分享：
　　什么是外延層厚度？所謂外延層是指在集成電路制造工藝中，生長沉積在晶圓襯底上的那一部分。
 
　　在某些情況下，需要硅片有非常純的與襯底有相同晶體結(jié)構(gòu)(單晶)的硅表面，還要保持對雜質(zhì)類型和濃度的控制。
 
　　這要通過在硅表面淀積一個外延層來達(dá)到。外延(epitaxial)是由兩個希臘詞組成的，epi意思是"在上面"，taxis意思是"排列"。
 
　　在硅外延中，硅基片作為籽晶在硅片上面生長一薄層硅。新的外延層會復(fù)制硅片的晶體結(jié)構(gòu)。由于襯底硅片是單晶，外延層也是單晶。
 
　　而且，外延層可以是n型也可以是p型，這并不依賴于原始硅片的摻雜類型。例如，在p型硅片上外延一層電學(xué)活性雜質(zhì)濃度比襯底還要低的P型硅是可以的。
 
　　硅外延發(fā)展的起因是為了提高雙極器件和集成電路的性能。外延可以在重?fù)诫s的襯底上生長一層輕摻雜的外延層。這在優(yōu)化pn結(jié)的擊穿電壓的同時降低了集電極電阻，在適中的電流強(qiáng)度下提高了器件的速度。
 
　　外延在CMOS集成電路中變得重要起來，因為隨著器件尺寸不斷縮小，它將閂鎖效應(yīng)降到低。外延層通常是沒有玷污的(比如沒有氧顆粒，它不是真正的CZ法生長的硅) 。
 
　　外延層的厚度可以不同，用于高速數(shù)字電路的典型厚度是0.5到5微米，用于硅功率器件的典型厚度是50到100微米。
 
　　以上就是本篇為您分享的全部內(nèi)容，希望以上的內(nèi)容能夠?qū)Υ蠹矣兴鶐椭?，感謝您的觀看和支持，后期會整理更多資訊給大家，敬請關(guān)注我們的網(wǎng)站更新。

會員登錄

請輸入賬號

請輸入密碼

=

請輸驗證碼

收藏該商鋪

標(biāo)簽：
保存成功

(空格分隔,最多3個,單個標(biāo)簽最多10個字符)

常用：

提示

您的留言已提交成功！我們將在第一時間回復(fù)您~
在線留言
团风县| 澄城县| 丰原市| 资兴市| 镇平县| 盘锦市| 汉中市| 神农架林区| 乌鲁木齐县| 精河县| 卢龙县| 大埔区| 桓台县| 樟树市| 英山县| 兰州市| 闻喜县| 阿拉善盟| 凤城市| 论坛| 久治县| 怀集县| 灵武市| 泾川县| 建湖县| 庐江县| 鸡西市| 木兰县| 海宁市| 吉隆县| 虎林市| 闻喜县| 伽师县| 合江县| 哈巴河县| 奉贤区| 长沙县| 长海县| 洛扎县| 中方县| 民权县|