高纯氧气分析仪的核心原件是一个电化学氧气传感器。常见的电化学氧气传感器由一个传感电极（或工作电极）和一个对电极组成，两个电极间有一层薄薄的电解液。要检测的气体先通过一个小的毛细口传感器，然后通过一个疏水膜扩散进入，最终到达电极表面。传感器的结构设计保证会有适量的气体进入与感应电极反应产生足够的电信号，并同时防止电解液泄漏出传感器。通过疏水膜扩散进入传感器里的气体在感应电极发生氧化/还原反应，电极间连接一个电阻，这样，阴极和阳极间会产生一个与氧浓度成正比的电流。通过检测这个电流，就反应出气体中的氧浓度。
高纯氧气分析仪在测量蒸汽时先从差压信号得到流量值，再从蒸汽温度和压力值表得到密度，计算蒸汽流量质量。关于氧气分析仪安装时雷诺数的修正，分析仪的流动系数与雷诺数呈正相关。当质量流体发生变化时，雷诺数发生反比变化，导致流动系数的变化。
氧气分析仪的种类较多，检测原理各异，针对性强，因此应根据不同使用场合、不同工艺状况选择合适的仪表。从而将各种燃烧设备的燃烧状态控制在佳状态，能有效地节约各种燃料（如原煤、石油、天然气、煤气等），控制设备平稳、经济运行，延长设备使用寿命；同时还可降低排烟“黑度”，减少排烟粉尘和SOX等有害气体。氧气分析仪可监测气体温度和压力等参数，且美观大方，操作使用非常方便，得益于高性能进口传感器，整机保持了一贯高精度、高稳定性、长寿命等优点。
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