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詳細(xì)介紹
主要特點
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詳細(xì)說明
作為擁有30多年歷史的貴金屬熱電偶行業(yè)先鋒, BASF已將其溫度測量技術(shù)專長應(yīng)用于光學(xué)溫度測量. BASF公司Exactus紅外測溫儀取得了技術(shù)性突破，在非接觸式溫度測量中提供了顯著的性能優(yōu)勢 .
BASF公司Exactus紅外測溫儀適用范圍廣泛.與其他典型的測量技術(shù)相比，超靈敏電子技術(shù)、精密光學(xué)技術(shù)以及利用短波長測量低溫的能力使得過程控制更加嚴(yán)格、精度更高、整體性能更好.
BASF的原創(chuàng)技術(shù)在控制晶圓之間溫度和薄膜厚度的均勻性方面具有許多優(yōu)勢. 高度敏感的電子學(xué)和*的光學(xué)技術(shù)意味著可以用更短波長的探測器來測量輻射能. 這減少了晶圓透射及發(fā)射率造成的誤差.此外,高速測量和高分辨率確保了控溫和噪聲抑制的優(yōu)異性能. 由此提供了更好的晶圓溫度監(jiān)控和生產(chǎn)工藝.
典型應(yīng)用
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技術(shù)參數(shù)
| 測量參數(shù) | |
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| 溫度范圍: | 單色測溫： 雙色測溫： |
| 測量精度: | 優(yōu)于1.5℃ 或 0.15%測值 |
| 分辨率: | 高達(dá)0.01℃ |
| 重復(fù)精度: | 0.1℃ |
| 溫度漂移: | 最大 0.10℃/年 環(huán)境: 0.05℃/℃ @ 20-45℃, 0.10℃/℃ @ 其它溫度 |
| 測量速率: | 高達(dá)1000 測值/秒, 響應(yīng)時間1ms |
| D:S | 標(biāo)準(zhǔn)鏡頭, 40：1 高分辨率鏡頭, 200:1 可按需訂制 |
| 物理參數(shù) | |
|---|---|
| 供電: | 12-28 VDC, 3W |
| 存儲溫度: | -20 to 70℃ |
| 環(huán)境溫度: | 電子器件: 0 - 60℃ |
| 外殼材質(zhì): | 傳感器和鏡頭外殼，304 不銹鋼/鋁； 氣吹外殼，鋁； 惡劣環(huán)境應(yīng)用鏡頭: 304 不銹鋼； |
| 重量: | 標(biāo)準(zhǔn)高溫計，0.510 kg (1.125 lbs.) 光纖傳感器，0.198 kg (7 oz.) |
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