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射频离子源是利用稀薄气体中的高频放电现象使中性原子或分子电离，并从中引出离子束流的装置，在高频电场中，自由电子与气体中的原子（或分子）碰撞，并使之电离。

射频宽波束离子源

RF/F 40 RF/I 40

图1 射频宽波束离子源

射频离子源是利用稀薄气体中的高频放电现象使中性原子或分子电离，并从中引出离子束流的装置，在高频电场中，自由电子与气体中的原子(或分子)碰撞，并使之电离。带电粒子倍增的结果，形成无极放电，产生大量等离子体，高频场可若管外螺线管线圈产生，则者称为电感耦合。

1. RF40使用简单、紧凑的电感功率耦合的无灯丝源，配备特殊电网绝缘调节系统，所有的惰性气体以及氧气等活性气体均可适用于离子源，栅网系统有多种形状与材料。

2. RF40安装在仪器内部和外部均可，使用功能陶瓷，维护方便快捷，工作寿命长，射频电源通过50欧姆电缆提供，不需要额外的匹配单元。

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图2 射频宽波束离子源尺寸布局

参数	RF/F40	RF/I40
类型	外部法兰安装射频激励离子源多孔径提取栅网	内部安装射频激励离子源多孔径提取栅网
源材料	放电管：Al₂O₃ 栅网：C或Mo 射频线圈：镀银和水冷铜永磁体：AlNiCo 外壳：不锈钢射频匹配元件：Cu和Al₂O₃
栅网类型	2栅网或3栅网系统 3种不同焦距的标准系统
型号	参见上图（无中和器）
重量	约1.8kg	约1.2kg
法兰	DN 100 CF	3个DN 40 CF介质引线
RF电源	~75 to 300 W at 13.56 MHz
离子电流	最大50 mA（取决于栅网类型和运行条件）
离子能量	50 到 2000 eV
加速电压	0 –1000 V
过程气体	惰性气体，O₂，N₂，CXHY（无限制）含卤素气体（减少栅寿命）
气流流量	1 -10 sccm 接头：6 mm Swagelock	1 -10 sccm 接头：1/8“Swagelock（空气和真空）
冷却水	1.5L/min	1.5L/min
电连接	射频：同轴N型直流：BNC	射频：同轴N型（空气和真空） DC:BNC（空气侧），电源接通（真空侧）0.5米真空电缆

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