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| 供货周期 | 一个月以上 |
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产品简介
详细介绍
线性ECR宽波束离子源
?？榛?/span>EC/L XXX离子源
关键的设计特性
基于简单、紧凑的微波耦合的无灯丝源
永磁体使用电子回旋共振(ECR)
法兰安装配置
功能陶瓷维护方便快捷
特殊的电网绝缘调节系统
优势
适用全惰性气体、氧气等活性气体
栅网系统有不同的形状和材料
长达2米的工作模块
少的维护和超长寿命,维修周期超过300h
均匀离子流超过总长度的百分之六十五尺寸/型号
技术规范
参数 | EC/L600 |
类型 | 法兰安装射频激励离子源 多孔径提取栅网 |
源材料 | 放电管：Al2O3 栅网：C 微波天线的真空分离：二氧化硅杯 永磁体：NdFeB 外壳：不锈钢 磁屏蔽：镀镍钢 |
栅网类型 | 2栅网或3栅网系统 2种不同焦距的标准系统 |
型号 | 深度：标准110 mm（可调为250 mm） 235 mm x 675 mm（无法兰） |
重量 | 约75kg |
法兰 | 带O形密封圈的非标准矩形法兰 340 mm x 775 mm |
微波电源 | 每个?？樵?/span>2.45 GHz时约125-400 W |
离子电流 | 1 A（取决于栅网类型和运行条件） |
离子 | 100 到 2000 eV |
加速电压 | 0 –1000 V |
过程气体 | 惰性气体，N2（无限制） O2和含卤素气体（栅极寿命缩短） |
气流流量 | 5-20sccm 接头：1/8“Swagelock（空气和真空） |
冷却水 | 1.5 l/min |
电连接 | 6 mm Swagelock |