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| 靶材材质 | 金 铂 铜 银 等 | 靶材尺寸 | 50mm |
|---|---|---|---|
| 产地类别 | 国产 | 价格区间 | 面议 |
| 溅射气体 | 根据需求通气 | 控制方式 | 触摸屏智能控制 |
| 样品仓尺寸 | φ160x160mm | 样品台尺寸 | 50mm |
| 应用领域 | 化工,电气 |
小型溅射仪郑科探KT-Z1650PVD
离子溅射仪在扫描电镜中应用十分广泛，通过向样品表面喷镀金、铂、钯及混合靶材等金属消除不导电样品的荷电现象，并提高观测效率，另外可以使用喷碳附件对样品进行蒸碳，实现不导电样品的能谱仪元素定性和半定量分析。
磁控溅射优点
（1）沉积速率快，沉积效率高，适合工业生产大规模应用；
（2）基片温度低，适合塑料等不耐高温的基材镀膜；
（3）制备的薄膜纯度高、致密性好、薄膜均匀性好、膜基结合力强；
（4）可制备金属、合金、氧化物等薄膜；
小型溅射仪郑科探KT-Z1650PVD厂家供应技术参数；
控制方式 | 7寸人机界面 手动 自动模式切换控制 |
溅射电源 | 直流溅射电源 |
镀膜功能 | 0-999秒5段可变换功率及挡板位和样品速度程序 |
功率 | ≤1000W |
输出电压电流 | 电压≤1000V 电流≤1A |
真空 | 机械泵 ≤5Pa（5分钟） 分子泵≤5*10^-3Pa |
溅射真空 | ≤30Pa |
挡板类型 | 电控 |
真空腔室 | 石英+不锈钢腔体φ160mm x 170mm |
样品台 | 可旋转φ62 （可安装φ50基底） |
样品台转速 | 8转/分钟 |
样品溅射源调节距离 | 40-105mm |
真空测量 | 皮拉尼真空计（已安装 测量范围10E5Pa 1E-1Pa） |
预留真空接口 | KF25抽气口 KF16放气口 6mm卡套进气口 |
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