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超微量氣體流量計的發(fā)展與應(yīng)用

閱讀:534        發(fā)布時間:2022/9/26
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  一、氣體計量在現(xiàn)代工業(yè)生產(chǎn)過程中占有重要地位,一方面,新工藝和新技術(shù)等制約其發(fā)展的關(guān)鍵領(lǐng)域的突破,尤其是微電子技術(shù)的迅速發(fā)展,使微量氣體計量由機械式向智能化、模塊化方向發(fā)展,其應(yīng)用范圍得到了極大的擴展;另一方面,隨著環(huán)境監(jiān)測、航空航天等應(yīng)用領(lǐng)域?qū)怏w計量準(zhǔn)確度要求的不斷提高,對氣體計量可靠校準(zhǔn)和溯源的研究越來越受到重視。
 
  二、應(yīng)用領(lǐng)域:
 
  1、超微量氣體流量計適用于檢測微小氣體流量,在精密半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)、氣體泄漏探測、真空鍍膜等領(lǐng)域
 
  2、用于超微流量氣體計量,測量精度可達(dá)ppm級別,可適用于普通氣體、惰性氣體、稀有氣體及輕微腐蝕性氣體的測量。適用于氫能、太陽能、沼氣技術(shù)、環(huán)境微生物降解、污水處理、燃料電池等研究領(lǐng)域。
 
  三、特點:
 
  1、RTK超微量氣體流量計采用自主發(fā)明技術(shù)GasMeteringCell(GMC),結(jié)合自主知識產(chǎn)權(quán)的軟件,簡便、精確、直接測量氣體體積或質(zhì)量,測量精度可達(dá)ppm級別。
 
  2、可根據(jù)需要拓展為多通道,輕松實現(xiàn)平行實驗,提高工作效率和數(shù)據(jù)可靠對比性。
 
  四、原理:
 
  測量范圍:最小流量為1毫升/天(ml/d),最大流量為50升/天(L/d)。
 
  測量精確度:<1%。
 
  測量分辨率:<1mL。
 
  通道數(shù):4通道、8通道、16通道。
 
  數(shù)據(jù)顯示:PC端界面數(shù)據(jù)、圖形結(jié)合顯示。
 
  適用范圍:可用于各種常規(guī)氣體及輕微腐蝕氣體的測量。

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