质谱附件-湿度发生器湿度发生器通过对潮湿与干燥气流进行定量混合，可以为测试提供具有确定的相对湿度的吹扫气氛。其可控的小湿度为约 30°C 下的 5% 相对湿度（0.2% 湿度），大湿度为 70°C 下的 90%相对湿度（30%湿度）。

质谱附件-湿度发生器湿度发生器通过对潮湿与干燥气流进行定量混合，可以为测试提供具有确定的相对湿度的吹扫气氛。其可控的小湿度为约 30°C 下的 5% 相对湿度（0.2% 湿度），大湿度为 70°C 下的 90%相对湿度（30%湿度）。

若水汽浓度 ≥ 2% 湿度（相当于 15°C下的 100% 相对湿度），需要配合使用水蒸气炉。对于 ≤ 2% 的较低湿度，可以使用任何类型的炉体，但必须避免冷凝。潮湿气氛浓度由软件控制，其步阶可编程。系统可以方便地在测试运行过程中进行重新充填。