Bayard-Alpert Pirani組合規(guī)傳感器
特征
從5×10 -10 mbar到大氣（3.8×10 -10 Torr到大氣）的極寬測(cè)量范圍
在10 -8 …10 -2 mbar（5％）的過程壓力范圍內(nèi)具有出色的可重復(fù)性
防止纖維絲過早老化和過度污染
長(zhǎng)壽命氧化釔涂層銥絲
自動(dòng)高真空皮拉尼調(diào)節(jié)器減少了操作員的干預(yù)
描述
Inficon BPG400 Bayard-Alpert Piran

 Bayard-Alpert Pirani組合規(guī)傳感器

 Bayard-Alpert Pirani組合規(guī)傳感器

特征

• 從5×10 -10 mbar到大氣（3.8×10 -10 Torr到大氣）的極寬測(cè)量范圍
• 在10 -8 …10 -2 mbar（5％）的過程壓力范圍內(nèi)具有出色的可重復(fù)性
• 防止纖維絲過早老化和過度污染
• 長(zhǎng)壽命氧化釔涂層銥絲
• 自動(dòng)高真空皮拉尼調(diào)節(jié)器減少了操作員的干預(yù)

描述

Inficon BPG400 Bayard-Alpert Pirani組合壓力表在單個(gè)緊湊型裝置中充當(dāng)兩個(gè)壓力表，從5×10 -10 mbar到大氣（3.

8×10 -10托（大氣）。組合技術(shù)降低了安裝，設(shè)置和集成的復(fù)雜性。BPG400以一種經(jīng)濟(jì)的包裝提供了對(duì)基礎(chǔ)壓力測(cè)量的可承受性和可重復(fù)性。典型的應(yīng)用是半導(dǎo)體工藝室和傳輸室中的壓力測(cè)量，工業(yè)涂料以及低真空至超高真空范圍內(nèi)的常規(guī)真空測(cè)量和控制。

注：楊清辰發(fā)布