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微波管式爐采用哪幾種真空系統(tǒng)呢?

閱讀:846        發(fā)布時(shí)間:2021-12-17
  微波管式爐的*設(shè)計(jì)能夠?qū)崿F(xiàn)在真空保護(hù)條件下對樣品快速升降溫,四面加熱,溫場更均勻,立式結(jié)構(gòu)使得氣體排放更加順暢,爐體垂直安裝在可移動(dòng)支架上有利于爐管取放溫度的均勻性,可以預(yù)抽真空并能通氫氣、氬氣、氮?dú)?、氧氣、一氧化碳、氨分解氣等氣體,該爐具有溫場均衡、表面溫度低、升降溫度速率快、節(jié)能等優(yōu)點(diǎn),特別適合薄膜生長、電極測試、氧化物晶體生長、快速退火等實(shí)驗(yàn)需要。
  立式管式氣氛爐主要應(yīng)用于院校實(shí)驗(yàn)室、工礦企業(yè)實(shí)驗(yàn)室,應(yīng)用于高、中、低溫CVD工藝,如碳納米管的研制,晶體硅基板鍍膜,金屬材料擴(kuò)散焊接以及真空或氣氛下的熱處理等。
  由于微波管式爐的種類是比較多的,并且每個(gè)對真空管式爐的真空系統(tǒng)要求都是不一樣的,根據(jù)真空度而言,有低真空,中真空,高真空三個(gè)系統(tǒng)。下面來詳細(xì)說一下這三個(gè)真空系統(tǒng)在微波管式爐中的實(shí)際應(yīng)用。
  1、低真空系統(tǒng)
  真空管式爐的低真空系統(tǒng)適用于規(guī)劃的真空管式爐,如預(yù)抽低真空井式爐,大多以油封式旋轉(zhuǎn)機(jī)械泵為主泵。
  2、中真空系統(tǒng)
  中真空系統(tǒng)適用于真空度在規(guī)劃的真空管式爐,中真空系統(tǒng)在真空管式爐的運(yùn)用中是比較廣泛的,一般由兩級(jí)真空泵機(jī)組組成。初級(jí)泵多選用旋轉(zhuǎn)機(jī)械泵或滑閥式機(jī)械泵,主泵為機(jī)械增壓泵或油增壓泵。
  3、高真空系統(tǒng)
  高真空系統(tǒng)一般由三級(jí)真空泵機(jī)組組成,主泵一般選用離子泵,初級(jí)泵大都也是選用旋轉(zhuǎn)機(jī)械或滑閥式機(jī)械泵。

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