Physik Instrumente（PI）线性传感器

PI(Physik Instrumente)在所有重要市场中都拥有自己的销售和服务办事处。此外，公司还在三大洲设置了纳米计量测试装置。PI Shanghai和PI USA拥有额外的发展和制造资源，可实现对定制设计规格的快速当地反应。

精密加工到数字与模拟控制电路，从亚纳米级的电容位置传感器到  的PICMA 压电陶瓷促动器，PI已掌握全套关键技术，强大的技术实力推动着微米纳米定位技术不断地向前沿发展，也使得PI成为众多高科技企业、较有名实验室的合作伙伴。

N-565 带线性编码器实现  高精度

具有亚纳米级编码器分辨率的NEXACT®压电步进驱动器

N-565

具有  高精度的线性平台

? 超高精度：  小位移为2纳米，直接测

量PIOne编码器的分辨率为0.5纳米

? 长行程：13 毫米、26 毫米或52 毫米

? 关机后自锁：节约能量，减少热量产生

? PiezoWalk技术带来长使用寿命和高可靠

性

? 紧凑型设计：宽为65毫米、高为20毫米

NEXACT参考级线性平台

带NEXACT

PiezoWalk驱动器的线性平台可在长行程范围内实现纳米级高精度定位。其配置直接测量线性编码器和交叉滚柱轴承

，可实现  高精度。

PiezoWalk技术：高分辨率、低磨损

PiezoWalk技术将压电陶瓷促动器与压电电机的技术优势结合在一起。PiezoWalk步进驱动器不仅能提供亚纳米级分辨

率、较大的力和高刚性，而且根据其驱动原理，其还能实现理论上无限的行程。不同于其他压电机动化驱动器原理，

PiezoWalk步进驱动器不受滑动摩擦作用的影响。其是基于几个压电陶瓷促动器的静摩擦接触，这几个促动器沿一个

动轮步进。静止状态下，PiezoWalk步进驱动器自锁，不消耗能量，无热量产生。

带PIOne线性编码器用于直接位置测量

高分辨率PIOne编码器由PI研发，在对测量数据进行相应处理后，可实现远低于1纳米的位置分辨率。此外，由于信号

周期短、信号质量高，PIOne编码器的线性误差小于1 %。PIOne编码器在研究参考信号时支持方向感应。

应用领域

样本操纵、样本定位、高精度和高稳定性光学或机械部件、半导体行业中的精密机械部件、显微操纵、显微镜、自动

化、有限空间内的应用、真空或无磁性环境中的应用。.

订购信息

N-565.160

精密线性定位平台，行程为13毫米，PIOne线性编码器，分辨率为0.5纳米，驱动力为10牛，尺寸为65 × 80 ×

20毫米（宽 × 长 × 高），NEXACT压电步进驱动器

N-565.260

精密线性定位平台，行程为26毫米，PIOne线性编码器，分辨率为0.5纳米，驱动力为10牛，尺寸为65 × 110 ×

20毫米（宽 × 长 × 高），NEXACT压电步进驱动器

N-565.360

精密线性定位平台，行程为52毫米，PIOne线性编码器，分辨率为0.5纳米，驱动力为10牛，尺寸为65 × 160 ×

20毫米（宽 × 长 × 高），NEXACT压电步进驱动器

产品描述：

1. 紧凑型设计：表面63毫米×63毫米

2. 步进电机和闭环直流电机

3. 可选配线性编码器用于直接位置测量

4. 交叉滚柱导轨

5. 非接触式参考和限位开关

紧凑型Z向位移台，用途广泛

带皮带驱动的折叠驱动，Z向位移台结构紧凑?？砂沧霸诖鳰6 50 毫米 × 50 毫米连接间距的线性平台上（如L-406）。

位置测量

增量线性编码器（可选配步进电机）
非接触式光学参考和限位开关
 

交叉滚柱导轨

对于交叉滚柱导轨，滚珠导轨中的滚珠的接触点被淬火滚柱的线接触取代。因此，它们的刚度明显提高，需要的预载更小，这减少了摩擦并实现了更平滑的运行。交叉滚柱导轨还具有高导向精度和高负载能力的特征。力导向滚动体保持架防止保持架蠕变。

驱动器

两相步进电机或闭环直流电机
空回补偿型滚珠丝杠
 

增量编码器用于高精度位置测量

非接触式光学编码器以*的精度直接在平台上测量位置。非线性效应、机械作用或弹性形变不会对测量造成影响。

应用领域

研究, 半导体技术, 光子, 自动化

电机类型 :两相步进电机/直流电机

工作温度范围 : 5 到 40°C

湿度 : 20%至80%相对湿度，无凝结

材料 : 阳极氧化铝、钢

质量 : 0.6千克

移动质量 : 0.18千克

电缆长度 ： 0.5米

连接

HD Sub-D 26针（公头）（电机）
HD Sub-D 26针（公头）（电机和编码器）
 

*推荐控制器：

C-663·12单轴
SMC Hydra（双轴）
带C-663·12C885的C-885（多达20轴）
ACS?？榛刂破?br /> 

德国PI Z向位移台 L-306 紧凑型精密多轴组合

Physik Instrumente（PI）线性传感器