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产品简介
风冷式冷水机半导体光刻机冷却：采用多个压缩机并联使用，每个压缩机自带一个独立的制冷回路，即蒸发器、冷凝器也*独立。
详细介绍
风冷式冷水机半导体光刻机冷却
风冷式冷水机
机组特点：
● 主机精选欧、美、日全新世界品牌压缩机，制冷效率高，低噪音低，节省电能，安全环保耐用。
● 采用新型环保制冷剂，无臭氧破坏，可根据不同国家和地区选不同的环保制冷剂。
● 控制电气采用品牌控制电器，保证机器工作稳定，寿命长久，安全可靠。
● 水泵，大排量，低能耗，省电耐用，可根据用户要求来选择水泵品牌及扬程和泵体材质。
● 低噪音外转子风机或轴流风机,噪音低,风量大，省电环保耐用。
● 配备精密式数显温度控制器，操作方便，简单直观。能精确控制水温±1℃，设定温度范围 5 ℃ -50 ℃，可直接分析机组的运行状况。(可根据用户要求配置控制系统。)
● 标配干式壳管式蒸发器或（不锈钢板式蒸发器），内置高效换热管，设计合理，换热效果良好；清洗维护方便快捷。
●冷冻水流体路采用高效能绝热材料保温，损失冷量少，更佳省电耐用。
● 水冷机组冷凝器采用高效能壳管式换热器（可选配不锈钢板式换热器），内置高效换热齿牙管，设计合理，换热效果良好；
● 风冷机组采用高效防腐散热器，由高效防腐的散热铝箔加上高效的螺纹换热的螺纹铜管组成，制造时采用二次翻边翘片机械涨管工艺和*换热器生产线，保证优质高效环保节能。
● 静电喷塑外壳，欧化设计，美观大方，外表板采用快速拆装形式，方便使用和维护。
冷冻水的压力和温度——讲解
空调用冷水机组一般是在标准工况所规定的冷水回水温度12℃，供水温度7℃，温差5℃的条件下运行的。对于同一台冷水机组来说，其运行条件不变，外界负荷一定的情况下，冷水机组的制冷量是一定的。此时，通过蒸发器的冷水流量与供、回水温差成反比，即冷水流量越大，温差越小；反之，流量越小，温差越大。所以，冷水机组工况规定冷水供回水温差为5℃，这实际上是规定了机组的冷水流量。这种冷水流量的控制就表现为控制冷水通过蒸发器的太力降。
在标准工况下，蒸发器上冷水供回水压降调定为0.5kgf/cm2。其压降调定方法是调节冷泵出口阀门开度，和蒸发器供、回水阀门开度。阀门开度调节的原则是：蒸发器出水有足够的压力来克服冷水闭式循环系统中阻力；机组在负担设计负荷的情况下运行，蒸发器进、出水温差为5℃。此时进、出蒸发器的冷水压降为0.5kg/cm2左右。
按照上述要求，阀门一经确定，冷水系统各阀门开度大小就应相对稳定不变。即使在非调定工况下运行（如卸载运行）旱，各阀门也应相对稳定不变。应当注意，全开阀门加大冷水流量，减少进、出水温差的做法是不可取的。这样做虽然会使蒸发器的蒸发温度提高，机组的冷量有所增加，但水泵功率也因此而提高，两相比较得不偿失。所以，蒸发器冷水侧进、出水压降控制在49.05kPa(0.5kgf/m2)为宜。
一般来说，冷水供水管上的压力，只要能够满足克服冷水管系统中管道上的阴力损失就可以了，这可以从安装在冷水泵上的吸入压力表读数来判别。然后通过控制冷水泵出水阀的开度，可以调节冷水供水压力。将出水阀开度关小，则冷水泵背压提高，通过水泵的流量减少，水泵功率消耗下降，这时蒸发器的供水压力下降，但该压力无论如何也不应低于满足蒸发器供、回水压降为49.05kPa(0.5kgf/m2)的要求。
为了冷水机组的运行安全，蒸发器出水温度一般不低于3℃。此外，冷水系统虽然是封闭的，在蒸发器中水侧结垢和腐蚀不会像冷凝器那样严重，但从设备检查维修要求出发，应每年对蒸发器管道的水侧和冷水系统的其他管道清洗一次。
【风冷式冷水机半导体光刻机冷却】
