德国MAGNESCALE激光天平原装*
特征
高速高分辨率,同时保持稳定的超精密测量。非常适合精密工作台、半导体检测/制造系统和超精密加工机器。
产品分类品牌分类
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产品简介
详细介绍
德国MAGNESCALE激光天平原装*
Magnescale磁栅尺、磁尺、光学尺、光栅尺,电子尺、反馈尺、位移传感器、检测器、变送器、探规、数显表、电缆、读数头、高度规、数字规、探针等系列产品。Magnescale一直在为中国国内有高精度、小行程、超长、恶劣环境等的位移精密检测的顾客提供着优质的服务。Magnescale产品主要应用于:冶金制造业,汽车制造业,电子半导体制造业,金属加工机械、木工机械,石材机械等。若需进一步了解产品的信息,请与我们联系。
德国MAGNESCALE激光天平原装*
BS78激光天平
特征
高速高分辨率,同时保持稳定的超精密测量。非常适合精密工作台、半导体检测/制造系统和超精密加工机器。
- 高分辨率标尺,信号间距约为。138纳米,优于光波干涉仪系统
- 高稳定性,不受湿度、气压和空气扰动的影响
- 基准点精度:0.1μm
- 刻度精度:0.04μm(测量长度:40 mm)
- 非接触式设计消除了返回误差。
- 提供特殊的非磁性和真空兼容型号
- 使用低膨胀玻璃:-0.7 x 10-6/℃(测量长度:10至420毫米)
规格
规格 | ||
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Magnescale保留更改产品规格的权利,恕不另行通知。 | ||
模型 | BS78 | |
测量长度 | 10(仅编号)/40/70/120/170/220/270/320/370/420 | |
全长 | 58毫米(升= 10毫米:开放式秤),升+26毫米(升= 40毫米至420毫米) l:测量长度 | |
麦克斯。旅行 | L + 2mm (L=10mm:开放式秤),L +10mm (L= 40mm至420mm) l:测量长度 | |
刻度精度(20摄氏度时) |
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光栅间距 | 大约。0.55μm | |
信号间距 | 大约。0.138μm(约。138nm) | |
参考点精度 | 0.1μm(仅电阻/电阻型) | |
参考点位置 | 在中间,从中间向左每隔50毫米 右侧(BS78型号,测量长度为320,370,420毫米: 以50毫米的间隔偏离中心20毫米) | |
基准点检测方向 | 单向 | |
返回错误 | 这几乎被消除了。应该被认为是 所用检测器的分辨率限制小于两个。 | |
可重复性 | 这几乎被消除了。应该被认为是 所用检测器的分辨率限制小于一个。 | |
热膨胀系数 | -0.7×10-6/℃ | |
光源 | 半导体激光器:波长790纳米,输出6mW | |
辐射功率 | DHHS一班 | |
检测原理 | 衍射光栅扫描系统 | |
工作温度 | 10至30℃(无冷凝) | |
储存温度 | -10至50℃(湿度60%或更低) | |
麦克斯。响应速度 | 400毫米/秒(当与BD96连接时) |