1)混床離子交換純化柱:混床離子交換純化柱由陰離子交換樹脂和陽(yáng)離子交換樹脂按比例混合而成。陽(yáng)離子交換樹脂用其H＋交換去除水中的陽(yáng)離子，陰離子交換樹脂用其OH－交換去除水中的陰離子，在混床樹脂中被交換出來(lái)的H＋和OH－結(jié)合生成H2O，因此混床離子交換純化柱可用來(lái)深度去除RO純水中尚存的微量離子。小型實(shí)驗(yàn)室超純水機(jī)中的混床離子交換純化柱通常為一次性使用。
2)EDI裝置:連續(xù)電去離子EDI（Electrodeionization的縮寫），是利用混床離子交換樹脂吸附給水中的陰陽(yáng)離子，同時(shí)這些被吸附的離子又在直流電壓的作用下分別透過(guò)陰陽(yáng)離子交換膜而被連續(xù)去除的過(guò)程。這一新技術(shù)可以代替?zhèn)鹘y(tǒng)的離子交換（DI），產(chǎn)出10MΩ.cm以上的超純水。EDI深度除鹽的zui大優(yōu)點(diǎn)是可長(zhǎng)期穩(wěn)定運(yùn)行，無(wú)需用酸堿再生陰陽(yáng)樹脂，十分適合造水量100L/h以上的超純水中央制備系統(tǒng)，水質(zhì)穩(wěn)定，并將大大降低運(yùn)行成本，TOC也將更低更穩(wěn)定。
3)除熱源超濾膜:超濾除熱源已廣泛用于現(xiàn)代制藥行業(yè)。超濾（Ultrafiltration，縮寫“UF”）膜的孔徑介于反滲透和微濾之間（約0.01～0.1μm），通常用zui小截留分子量來(lái)表示。
4)紫外線殺菌燈與TOC紫外消解器：紫外線殺菌燈采用254nm波長(zhǎng)的紫外線照射殺菌，可有效破壞微生物的DNA分子，使之形成TT兩聚體而無(wú)法繁殖，是空氣、水安全有效的常用滅菌方法。TOC紫外消解器采用可同時(shí)產(chǎn)生185nm/254nm雙波長(zhǎng)的紫外線燈管，其中185nm紫外線在空氣中可產(chǎn)生臭氧而殺菌除味，在水中會(huì)產(chǎn)生氫氧自由基，可將純水中微量有機(jī)物迅速氧化為CO2，達(dá)到去除TOC的目的。
5)終端過(guò)濾器：孔徑0.22um的終端過(guò)濾器可*濾除細(xì)菌、真菌及孢子、樹脂碎片及一切微米級(jí)污染物。終端過(guò)濾器形式有中空纖維式、PP桶過(guò)濾器、囊式過(guò)濾器、針頭式濾器等，膜材質(zhì)有聚丙烯、尼龍、聚偏氟乙烯等
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