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上海殷德电气有限公司
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LAF传感器旨在实现光学检测设备和工业显微镜的实时焦点跟踪。该传感器广泛用于平板显示器、电子器件和半导体的AOI系统
我们的技术可实现以下焦点跟踪：
无图案表面
具有高对比度变化的图案表面
具有高倍率透镜的最小结构
独te功能：
混合激光/图像跟踪
三明治基板的多表面聚焦
自动设置
参考型号: LAF4、LAF5、LAF5-CH
LAF5直线激光自动聚焦跟踪系统：
用于自动光学检测（AOI）系统和工业显微镜的自动聚焦和跟踪
传感器投射一条激光线聚焦在样品上
适用于放大倍率为2倍至100倍的无限校正透镜，可见光、近红外、NUV、DUV
UI界面和软件库
