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賀德克壓力傳感器相關介紹

閱讀:911          發(fā)布時間:2022-6-24


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賀德克壓力傳感器相關介紹

賀德克壓力傳感器一般由彈性敏感元件和位移敏感元件(或應變計)組成。彈性敏感元件的作用是使被測壓力作用于某個面積上并轉(zhuǎn)換為位移或應變,然后由位移敏感元件(見位移傳感器)或應變計(見電阻應變計、半導體應變計)轉(zhuǎn)換為與壓力成一定關系的電信號。有時把這兩種元件的功能集于一體,如壓阻式傳感器中的固態(tài)壓力傳感器。


賀德克壓力傳感器是檢測氣體、液體、固體等所有物質(zhì)間作用力能量的總稱,也包括丈量高于大氣壓的壓力計以及丈量低于大氣壓的真空計。力敏傳感器的種類甚多、傳統(tǒng)的丈量方法是利用彈性元件的形變和位移來表示,但它的體積大、粗笨、輸出非線性。隨著微電子技術的發(fā)展,利用半導體材料的壓阻效應和良好的彈性,研制出半導體力敏傳感器,主要有硅壓阻式和電容式兩種,它們具有體積小、重量輕、靈敏度高等優(yōu)點,因此半導體力敏傳感器得到廣泛應用。當對一塊半導體在某一晶向上施加應力時,其電阻率會產(chǎn)生一定的變化。這種導體電阻率變化和應力之間的相互關系稱為半導體壓阻效應,利用此效應制成的力學量傳感器稱為壓阻式力敏傳感器,它有兩種類型,一類是將半導體應變計粘貼在彈性元件上制成的傳感器,稱為粘貼型壓阻式傳感器,另一類是在半導體材料的基片上用集成電路工藝制成的擴散電阻,使應變計與硅襯底形成同一整體的傳感器,稱為擴散型壓阻式傳感器。


賀德克壓力傳感器中主要使用的壓電材料包括有石英、酒石酸鉀鈉和磷酸二氫胺。其中石英(二氧化硅)是一種自然晶體,壓電效應就是在這種晶體中發(fā)現(xiàn)的,在一定的溫度范圍之內(nèi),壓電性質(zhì)一直存在,但溫度超過這個范圍之后,壓電性質(zhì)*消失(這個高溫就是所謂的 “ 居里點 " )。由于隨著應力的變化電場變化微?。ㄒ簿驼f壓電系數(shù)比較低),所以石英逐漸被其他的壓電晶體所替換。而酒石酸鉀鈉具有很大的壓電靈敏度和壓電系數(shù),但是它只能在室溫順濕度比較低的環(huán)境下才能夠應用。磷酸二氫胺屬于人造晶體,能夠承受高溫順相當高的濕度,所以已經(jīng)得到了廣泛的應用。


HYDAC壓力傳感器型號


EDS3346-2-0016-000


EDS3346-2-06.0-000


EDS3446-1-0040-000


EDS3446-1-0100-000


EDS3446-1-0250-000


EDS3446-1-0400-000


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