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薄膜厚度的測量方法都有哪些

閱讀:814      發(fā)布時間:2024-11-19
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薄膜厚度的測量方法有很多:
按照測量的方式分可以分為兩類:直接測量和間接測量。直接測量指應(yīng)用測量儀器,通過接觸(或光接觸)直接感應(yīng)出薄膜的厚度,常見的直接法測量有:螺旋測微法、精密輪廓掃描法(臺階法)、掃描電子顯微法(SEM);間接測量指根據(jù)一定對應(yīng)的物理關(guān)系,將相關(guān)的物理量經(jīng)過計算轉(zhuǎn)化為薄膜的厚度,從而達(dá)到測量薄膜厚度的目的。常見的間接法測量有:稱量法、電容法、電阻法、等厚干涉法、變角干涉法、橢圓偏振法。
按照測量的原理可分為三類:稱量法、電學(xué)法、光學(xué)法。常見的稱量法有:天平法、石英法、原子數(shù)測定法;常見的電學(xué)法有:電阻法、電容法、渦流法;常見的光學(xué)方法有:等厚干涉法、變角干涉法、光吸收法、橢圓偏振法。
TF200薄膜厚度測量系統(tǒng)利用薄膜干涉光學(xué)原理,對薄膜進(jìn)行厚度測量及分析。用從深紫外到近紅外可選配的寬光譜光源照射薄膜表面,探頭同位接收反射光線。應(yīng)用領(lǐng)域:
半導(dǎo)體(SiO2/SiNx、光刻膠、MEMS,SOI等)
LCD/TFT/PDP(液晶盒厚、聚亞酰胺ITO等)
LED (SiO2、光刻膠ITO等)
觸摸屏(ITO AR Coating反射/穿透率測試等)
汽車(防霧層、Hard Coating DLC等)
醫(yī)學(xué)(聚對二甲苯涂層球囊/導(dǎo)尿管壁厚藥膜等)
 
 

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