PI N-310 NEXACTOEM小型線性電機/促動器

緊湊，快速，具有長行程，PiezoWalk原理

• 行程為10至125毫米，動輪長度可變
• 緊湊型設(shè)計，經(jīng)濟劃算的設(shè)計
• 分辨率達(dá)0.03納米
• 力量生成達(dá)10牛

PI N-310 NEXACTOEM小型線性電機/促動器

• 行程為10至125毫米，動輪長度可變
• 緊湊型設(shè)計，經(jīng)濟劃算的設(shè)計
• 分辨率達(dá)0.03納米
• 力量生成達(dá)10牛

應(yīng)用領(lǐng)域

• 工業(yè)級精度定位
• 半導(dǎo)體技術(shù)
• 半導(dǎo)體測試
• 晶圓檢測
• 平版印刷術(shù)
• 納米壓印
• 納米測量
• 強磁場和真空中運動

增量編碼器用于高精度位置測量

非接觸式光學(xué)線性編碼器以*的精度直接在平臺上測量位置。非線性效應(yīng)、機械作用或彈性形變不會對測量造成影響。

采用PiezoWalk步進(jìn)驅(qū)動實現(xiàn)納米精度和大進(jìn)給力

數(shù)個壓電陶瓷促動器在PiezoWalk步進(jìn)驅(qū)動中執(zhí)行步進(jìn)運動，將動輪向前推進(jìn)。促動器控制允許以遠(yuǎn)低于一納米的分辨率進(jìn)行小步進(jìn)和推進(jìn)運動。

適用于復(fù)雜真空應(yīng)用

PI的壓電電機原則上是真空兼容的，并且適合在強磁場中運行。驅(qū)動器的特殊版本適于此目的。壓電陶瓷步進(jìn)驅(qū)動器還可用于有較強紫外線輻射的無塵室或環(huán)境中。