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日本FUJI-US富士工业品多组分浓度计 FUD-1 Model-53
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  • 日本FUJI-US富士工业品多组分浓度计 FUD-1 Model-53

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货物所在地: 山东青岛市
地: 日本
更新时间: 2025-07-07 08:49:46
期: 2025年7月7日--2025年10月7日
已获点击: 64
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产品简介

日本FUJI-US富士工业品多组分浓度计 FUD-1 Model-53

详细介绍

日本FUJI-US富士工业品多组分浓度计 FUD-1 Model-53

FUD-1 Model-53 的优点(如可维护性和高精度在线测量)保持不变,是半导体制造工艺的小型单元型发射器。

多组分浓度计的特点

实时3成分中2成分浓度计侧

  • 标配模拟 DC4~20mA(2 系统)及数字 RS232C

  • 标配测量错误输出和报警输出

  • 标配自诊断功能和错误消息显示

  • 小型、轻质单元式发射器可直接安装在生产线上

  • 采用PFA的接液部件质、小输出设计对药液没有影响


优势

  • 可实现高精度的连续测量

  • 无需定期调整和校准,免维护

  • 无需安装时进行各种调整等,安装也容易

  • 通过实时输出轻松反馈流程


用途

  • CMP工序中CMP浆料及氧化剂浓度管理等

  • 清洗过程中的清洗液浓度管理等(HF+HNO3、HF+H2SiF6等)

  • 蚀刻过程中的蚀刻液浓度管理等(TMAH+抗蚀剂、TMAH+Si等)




规格

类型表达式FUD-1 Model-53
转换器
测量参数超声波传播速率、温度和电导率
显示LCD(浓度 1、浓度 2、温度、声速、电导率/各种参数)
输出信号模拟 DC4~20mA:2系统(可根据浓度值自由设定)
数字RS232C(浓度1、浓度2、声速、温度、电导率、错误代码)
警报 上、下限 测量异常:2系统
电源AC100V 至 240V 50/60Hz 30VA(也可使用 DC24V)
结构面板安装类型(符合 DIN 标准)
环境温度转换器0~50℃
RH85% 或更少(无冷凝)
功能输出范围设定功能、警报输出设定功能、浓度显示移动平均功能、浓度显示偏移及增益设定功能、自诊断功能、故障安全功能、异常值消除功能、温度时间常数校正
选项温度输出(DC4~20mA)
RS485输出(无法与RS232C同时输出)
通道(校准曲线)高达 7 通道
兼容发射器示例SA-20S29+电导率计、SA-20S27+电导率计



类型表达式发射器
SA-20S29+电导率计
SA-20S27+电导率计
振动元件 PZT(2MHz)x1PZT(2MHz)x2
测量元件热敏电阻热敏电阻
测量液体温度 0~100℃ 0~80℃
结构流式细胞流式细胞
液体接触材料PFA/PFA 涂层 PFA
管接头3/4 配件(可更改)3/4 配件(可更改)
耐压 0.3MPa 0.3MPa
 流量5 升/分钟(推荐)5 升/分钟(推荐)
 重量 2.5kg 2.5kg
电缆专用电缆 6m专用电缆 6m
环境温度 5~45℃ 5~45℃


ASHAHISEIKOEG01-55-1MR
RIONVP-51A
UNIPULSEWLI-P330
SAMAZUMEFHC-30SN
HAKKOA1573
SOLAR#205
SANKEITA35T
SANKEIAS8-9
SANKEICPU12-F-SPUS
ACCRETECHDM45502
OJIDENOFL-2Y-SM2C
KODAIRAYBA-7


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