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SM930 系列可供多種手動(dòng)操作人員和氣動(dòng)執(zhí)行器使用。提供優(yōu)xiu的可靠性、泄露完整性和潔凈性，使其成為UHP超高純半導(dǎo)體模塊化貼面安裝系統(tǒng)應(yīng)用的理想選擇
產(chǎn)品分類品牌分類
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產(chǎn)品簡(jiǎn)介
詳細(xì)介紹
派克PARKER隔膜閥產(chǎn)品描述:
SM930系列與工藝流體接觸部分無螺紋或彈簧，大限度地減少粒子生成和氣體截留，減少對(duì)半導(dǎo)體應(yīng)用至關(guān)重要的過程污染。閥門的嚴(yán)格設(shè)計(jì)控制閥座和膜片應(yīng)力，提供穩(wěn)定和無需維護(hù)使用壽命。SM930系列接液部件由特殊金屬制備，提供優(yōu)異的耐腐蝕性和泄露完整性。閥體為內(nèi)部電解拋光Vericlean™ 316L不銹鋼。Vericlean™ 是派克的UHP超高純級(jí)不銹鋼。隔膜材料為高強(qiáng)度鈷基合金。SM930系列同時(shí)提供PCTFE, PEEK® 和Vespel® 閥座材料，允許SM930與多種工藝流體兼容。這些材料由SM955系列嚴(yán)格設(shè)計(jì)組成，使SM930系列具有強(qiáng)耐腐蝕性和更高循環(huán)壽命，入口壓力高達(dá)250 psig.
SM930系列氣動(dòng)閥可配套限位開關(guān)或接近開關(guān)提供開-關(guān)位置指示。也有多種閥體結(jié)構(gòu)，包括930Y（Y閥）和930（面密封和短管接口）. SM930系列閥門的內(nèi)部（閥座）密封和金屬外部密封通過氦泄漏測(cè)試，使用質(zhì)譜儀達(dá)到在苛刻超高純應(yīng)用中的性能和穩(wěn)定性.
派克PARKER隔膜閥特點(diǎn)/優(yōu)勢(shì):
• 有C和W密封貼面安裝1-1/8
和1-1/2
閥體尺寸
• 5微英寸(Ra粗糙度)電拋光表面處理
• 高循環(huán)壽命(包括腐蝕性工礦)
• 內(nèi)部無彈簧無螺紋，大限度地減少粒子生成和氣體截留
• 壓力范圍：真空到250 psig
• 內(nèi)漏率:≤ 1 x 10-9 立方厘米/秒 He
• 外漏率:≤ 2 x 10-10 scc/sec立方厘米/秒 He
• 常規(guī)氣動(dòng)動(dòng)作壓力75 psig
派克PARKER隔膜閥應(yīng)用:
• 腐蝕性和特殊氣體
• 半導(dǎo)體工具
• 工具掛鉤
• 氣體柜
• 閥組箱 (VMB)
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