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當前位置:上海琦圣達自動化設備有限公司>>美國Brooks布魯克斯>>壓力傳感器>> PC115 / PC125美國Brooks布魯克斯金屬密封壓力控制器
參 考 價 | 面議 |
產(chǎn)品型號PC115 / PC125
品 牌其他品牌
廠商性質(zhì)代理商
所 在 地上海市
更新時間:2025-05-16 13:31:38瀏覽次數(shù):496次
聯(lián)系我時,請告知來自 化工儀器網(wǎng)美國Brooks布魯克斯機械壓力調(diào)節(jié)器
應用領域 | 環(huán)保,能源,電子/電池,電氣,綜合 |
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美國Brooks布魯克斯金屬密封壓力控制器
產(chǎn)品特點
- 高精度控制:壓力控制精度高,壓力讀數(shù)精度為±1% of reading,壓力控制精度為±0.2% of f.s.(<10% f.s.);±1% of reading(>10% to 100% f.s.)。
- 快速響應:響應時間小于1秒(不包括系統(tǒng)時間常數(shù)),能快速對壓力變化做出反應,實現(xiàn)精準控制。
- 全金屬流路:采用全金屬密封流路,表面光潔度達5µinch Ra,材質(zhì)符合SEMI F20 HP標準,包括316L VIM/ VAR、哈氏合金C - 22等,可確保無顆粒、水分和污染,適用于高純度要求的工藝。
- 多氣體/多量程:部分型號支持多氣體/多量程功能,可存儲和預編程多達10種氣體校準和量程,減少庫存并提高設備通用性。
- 通信與診斷功能:具備數(shù)字通信功能,支持DeviceNet™、RS485 L - protocol等通信協(xié)議,方便與其他設備集成和遠程控制。同時具有獨立的診斷/服務端口,便于設備評估、故障排除和維護。
產(chǎn)品規(guī)格
- 流量范圍:PC115的流量范圍為20sccm - 5slm(僅N?和H?),PC125的流量范圍為10slm(僅N?和H?)。
- 壓力范圍:傳感器壓力范圍為1000托(fs),壓力控制范圍大于2%至100%。
- 工作溫度:溫度范圍為10 - 50°C。
- 泄漏完整性:外部泄漏率最大為1×10?1?atm scc/sec(氦氣)。
應用領域
主要應用于半導體優(yōu)良蝕刻工具、薄膜化學氣相沉積系統(tǒng)(CVD、MOCVD、PECVD、ALD)、物理氣相沉積(PVD)系統(tǒng)等對壓力控制精度和純度要求高的領域
美國Brooks布魯克斯金屬密封壓力控制器
日常維護
- 外觀與連接檢查:檢查控制器外殼有無損傷、腐蝕,金屬密封處有無磨損、變形,確保無泄漏。查看各連接部位,包括管道和電氣連接,保證連接牢固,無松動、滲漏。
- 運行狀態(tài)監(jiān)測:留意控制器的運行聲音,若有異常噪音,可能表示內(nèi)部有部件故障。觀察壓力顯示值是否穩(wěn)定,若出現(xiàn)波動或異常,需及時排查原因。
定期維護
- 清潔處理:定期打開外殼,用干凈軟布擦拭內(nèi)部電子元件、電路板上的灰塵。對于金屬密封部件,可用溫和的清潔劑去除油污、雜質(zhì),再用清水沖洗并擦干,避免使用腐蝕性清潔劑。
- 性能校準:每年或按使用情況縮短校準周期,使用高精度標準壓力源和測量設備校準,在全量程多點校準并記錄數(shù)據(jù),偏差超范圍時,需專業(yè)人員調(diào)整或送修。
- 部件檢查:查看內(nèi)部電子元件有無過熱、燒焦、電容鼓包等損壞跡象,及時更換損壞元件。檢查金屬密封的閥芯、閥座等部件,有磨損、損壞時,應修復或更換原廠配件。
環(huán)境維護
- 工作環(huán)境監(jiān)測:確??刂破髟谝?guī)定的溫度、濕度范圍內(nèi)工作,避免在高溫、潮濕、有腐蝕性氣體的環(huán)境中使用,遠離振動源和強磁場。
- 安裝位置檢查:定期檢查安裝位置是否正確、牢固,防止管道應力傳遞到控制器上,若管道有振動或位移,應及時調(diào)整固定。
記錄與文檔管理
建立詳細的維護記錄檔案,記錄維護時間、內(nèi)容、校準數(shù)據(jù)、更換部件等信息,以便分析運行狀況,為維修、校準和設備更新提供參考
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