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直線度：用標(biāo)記表示-。定義特定平行線與理想平行線之間變化量的形狀公差。它由四個因素組成：外觀（理想公差外觀）、尺寸（尺寸公差值）、方向和位置。

平面度：平整度是指理想平面的誤差與基板的宏觀凹凸縱橫比的相關(guān)性。準(zhǔn)確的平面度測量是指將被測表面改變?yōu)槠淅硐肫矫?。平面度偏差是將被測表面與理想平面進行比較，兩者之間的線值間距為平面度誤差；或根據(jù)比表面上幾個點的絕對高差的精確測量，計算以線值表示的平面度誤差。

平行度：用標(biāo)記//表示。平行度是指兩個平面或兩條直線的平行度。一個平面（邊）與另一平面（邊）平行面的相對性偏差控制值。平行度尺寸公差是一個固定項目的尺寸公差，它是被測因素相對性標(biāo)準(zhǔn)方位角的總允許偏差。因此，固定項尺寸公差具有操縱方向的功能，即操縱測量系數(shù)的方向，使其達(dá)到標(biāo)準(zhǔn)系數(shù)

垂直度：由標(biāo)記表示⊥. 垂直度對平行線中間、大理石組件制造商平面圖中間或平行線和平面圖中間的垂直度進行評論。其中一條平行線或平面為評價標(biāo)準(zhǔn)，平行線可以是被測物體平行線或勻速直線運動軌跡的一部分，平面可以是平面的一部分，也可以是由被測物體軌跡生成的平面。