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详细介绍
MAY-3001F-TMAH 电子级显影液浓度监控仪
MAY-3001F-TMAH半导体电子级硝酸浓度实时监控系统，采用数字 CCD (光电耦合器)检测光学图像和分界阴影线，将图像信息逐点转换成电信号，测得分界阴影线的确切位置，从而测得 nD ；探头内置温度探头，实时测量出界面处介质温度，MAYZUM-V6.3浓度数据处理系统根据获得的 nD 和 T，自动进行温度补偿，计算并显示出氨水的浓度值。具有探头状态自诊断功能、自助建模、测量值与滴定值曲线修正、线性误差修正、RI校准、自定义多点温度补偿值、自清洗控制、上下限设定及声光报警等功能,适应多种复杂工况,依据用户现场工况灵活设定,精度更高,重复性好,数据更可靠。
TMAH显影液是一种电子级四甲基氢氧化铵显影液，广泛应用于高精度显示器、集成电路半导体、印刷基板等制造过程中的显影工序。显影液电子级在线浓度仪则被广泛用于电子级及半导体行业中，实现对显影液溶液浓度的在线自动检测。
半导体电子级硝酸浓度实时监控系统技术参数：
仪器型号 | MAY-3001F-TMAH |
过程流体 | 显影液TMAH |
浓度范围 | 0-25% |
分辨率 | 0.01% |
精准度 | 0.1% |
触液材质 | PTFE、PEEK等 |
耐温温度 | 0-100℃ |
防护等级 | 触液部分IP67 |
耐压范围 | ≤1MPa |
信号输出 | ￡4-20mA模拟量、￡RS485/232数字量、￡开关量（异常报警,上下限2路输出） |
防爆等级 | 传感器：本安型Ex ia IIC T4 Ga |
其它选项 | 分体式数据看板、多通道数据采集控制系统（支持120通道）、PC端数据采集系统、无线数据远传?？?/span> |
特殊标度 | 非标定制，按客户需求建立数据模型 |
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