三維表面檢測儀的全自動測量過程中優(yōu)異的影像識別能力使得全自動測量成為可能。批量產(chǎn)品的數(shù)據(jù)可以通過按一個按鈕實現(xiàn)自動測量和自動輸出結(jié)果，改變傳統(tǒng)的依靠經(jīng)驗的手動測量方式，使自動測量的重復(fù)性控制在微米級，很大程度地提高檢測水平，促進制造品質(zhì)的提高。
三維表面檢測儀可加裝激光、探針、轉(zhuǎn)臺等傳感器，實現(xiàn)一個坐標(biāo)系下的多元傳感的綜合應(yīng)用，提供復(fù)雜測量難題的解決方案。廣泛用于汽車、電子、五金、塑膠、模具等行業(yè)中，可對工件的尺寸、形狀和形位公差進行精密檢測，從而完成零件檢測、外形測量、過程控制等任務(wù)。
三維表面檢測儀能用于表面微觀形貌分析的測量系統(tǒng)，按基于不同的物理原理，可將它們分為參數(shù)方法和輪廓方法。參數(shù)法所產(chǎn)生的參數(shù)表示所檢測表面的一些平均性能；而輪廓法逐點掃描獲得形貌信息。輪廓法被認為是可以測量真實的3D形貌，給出相對于位置高度的定量信息。
按傳統(tǒng)的分類方式，表面測量又可分為接觸式和非接觸式。觸針式儀器是典型的接觸方法，而光學(xué)儀器是非接觸式方法，掃描探針顯微鏡既是接觸式又是非接觸式。
光學(xué)測量方法主要的問題一直是包含許多的變量，測量參數(shù)和表面形貌之間的相關(guān)性難以確定。
因為光與表面干涉的所有現(xiàn)象都受到表面粗糙度的影響，所以光學(xué)方法數(shù)量多，如基于反射、繞射、偏振、光斑等研究的方法，橢圓對稱法作為用于在線控制表面粗糙度的潛在工具。
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