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产品简介
详细介绍
百级洁净烘箱-DF系列也称为无尘烘箱或洁净烤箱,能提供净化环境的特殊设备,常用的就是通过空气过滤器来净化环境,避免空气中的细小颗粒物进去箱内。箱内空气封闭自循环，经100级耐高温高效空气过滤器反复过滤，使工作室内处于无尘状态。温控仪表自动控制温度，恒温及时间控制，设有超温自动停电及报警电路，控制可靠，使用安全。 无尘烘箱适用于电子液晶显示、LCD、CMOS、IS、医药、实验室等生产及科研部门。
洁净烘箱是一种提供高温净化环境的特殊洁净设备，箱内空气封闭自循环，经耐高温空温空气过滤器反复过滤，使干燥箱工作室内处于无尘状态。洁净干燥箱工作室内壁采用全不锈钢结构，外壳为冷轧钢板制成，表面复漆，工作室内温度采用智能式数显温度控制仪进行自动控制P.I.D调节,数显时间控制,并设有断偶及超温报警,操作方便,使用安全。
洁净烘箱特点：
1.在普通环境下使用，能够确保烘箱内部等级达到Class 100；
2.全周氩焊，耐高温硅胶破紧，SUS304#不锈钢电热生产器，防机台本身所产生微尘；
3.采平面水平由后向前送风热风循环系统，风源由循环马达运转带动风轮经电热器，将热风由风道送至烤箱内部，且将使用后空气吸入风道成为风源再度循环加热，省电节能温度均匀性好，过滤效率99.99%，Class 100；
4.强制送风循环方式。双风道循环结构，温度场分布均匀，智能P.I.D温控系统，得到温度控制精度。
百级洁净烘箱-DF系列用于半导体制造中硅片、砷化镓、铌酸锂、玻璃等材料涂胶前的预处理烘烤、涂胶后坚膜烘烤和显影后的高温烘烤；也适用于电子液晶显示、LCD、CMOS、IS、医药、实验室等生产及科研部门；也可用于非挥发性及非易燃易爆物品的干燥、热处理、老化等其他高温试验。
技术参数表
型号 | DHG-9180DF | DHG-9270DF | DHG-9480DF | DHG-9980DF |
外观 | 立式 | |||
洁净等级 | 100# | |||
温度范围 | RT+50～300℃ | |||
温度均匀度 | ±2.5%℃ | |||
温度波动度 | ≤0.5℃ | |||
工作室含尘度 | ≥0.5UM≤3.5UM/L | |||
进气孔 | φ8mm | |||
排气孔 | φ8mm | |||
控温方式 | 微电脑智能演算PID | |||
循环方式 | 强制对流 | |||
定时范围 | 1～9999min | |||
运行方式 | 定值运行 定时运行 | |||
工作室尺寸mm | 600x500x600 | 600x500x900 | 800x600x1000 | 1400x700x1000 |
外形尺寸mm | 950x1240x1510 | 950x1240x1810 | 1290x955x1790 | 1950x1055x1790 |
容积 | 180L | 270L | 480L | 980L |
标配搁板 | 2 | |||
搁板承重 | 30KG | |||
净重 | 260KG | 320KG | 450KG | 730KG |
电源电压 | AC380V/50Hz | |||
额定功率 | 7500W | 10000KW | 11000W | 17000W |
