全新上照式設計，搭載全自動移動平臺和影像識別功能，既能檢測納米級厚度、微小樣品和凹槽異形件的膜厚，也可滿足微區(qū)RoHS檢測及全元素成分分析。
1）搭載微聚焦加強型X射線發(fā)生器和*光路轉換聚焦系統(tǒng)，最小測量面積達0.03mm2
2）擁有無損變焦檢測技術，手動變焦功能，可對各種異形凹槽件進行無損檢測，凹槽深度范圍0-90mm
3）核心EFP算法，可對多層多元素，包括同種元素在不同層都可快、準、穩(wěn)的做出數(shù)據(jù)分析（釹鐵硼磁鐵上Ni/Cu/Ni/FeNdB，精準檢測第一層Ni和第三層Ni的厚度）
4）配備全自動可編程移動平臺，可實現(xiàn)無人值守，對成百上千個樣品進行全自動檢測
5）涂鍍層分析范圍：鋰Li（3）- 鈾U（92）
6）成分分析范圍：鋁Al（13）- 鈾U（92）
7）RoHS、鹵素有害元素檢測
8）人性化封閉軟件，自動判斷故障提示校正及操作步驟，避免誤操作
9）標配四準直器自動切換
10）配有微光聚集技術，最近測距光斑擴散度小于10%
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