特种气体兴起于20 世纪60 年代中期，为基础化工材料，主要应用于大型石油化工、半导体器件、光导纤维、激光、医学科学、临床诊斯、医药消毒、水果催熟、食品保鲜等领域。随着新产品技术的发展，其应用范圈也越来越广泛。目前在特种气体分析检测中的色谱分析法主要有DID(氦离子先按测器）、常规气相色谱。

    DID 色谱分析仪，核心部件为放电离子化检测器， DID 检测器的主体由电离室和放电室组成，之间有狭窄通道，放电区域内电极两端施以适量高压后，可以得到一束高能量的紫外光辐射（ 400-500nm)，紫外光在电离室内使氦原子被激化，被激化的氮原子与电子碰撞产生氦离子，即通常所说的亚稳态，被激化的氦及被离子化的氦在电极前形成放电电流。分析物的检测发生在下室即放电室，亦称为离子化室。被激化的氦原子具有很高的能量，通过上下室之间狭小的开口进入下室，并与来自色谱柱的载气及已分离的杂质分子发生非弹性碰撞使各种杂质分子电离。此时在集电极上加以适当电应收集被电离的杂质分子，可以得到浓度成正比的电流信号。亚稳态的高能氦原子具有较高能量，可使包括Ne 在内的很多物质分子电离，因而DID 是一种通用型检测器，物质在DID 的响应因子与其电离时的能有关。除对载气He 气外，对很多气体都有反应，灵敏度可达10-9级，线性范围宽，检测范围可从10-9~2% ，尤其是各种痕量分析。