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產(chǎn)地類別	進(jìn)口	應(yīng)用領(lǐng)域	綜合

FS-70系列半導(dǎo)體檢測(cè)顯微鏡單元

FS-70系列半導(dǎo)體檢測(cè)顯微鏡單元產(chǎn)品特點(diǎn)

• 帶目鏡觀察的小巧顯微鏡單元。適于檢測(cè)金屬表面、半導(dǎo)體、液晶基板、樹脂等。

• 多種顯微鏡鏡體通常用作適用于專業(yè)器械的OEM (原廠委制) 產(chǎn)品，如那些利用YAG (近紅外、可見、近紫外或紫外) 激光* 對(duì)半導(dǎo)體晶片進(jìn)行檢測(cè)和修補(bǔ)的設(shè)備。* 不保證激光系統(tǒng)產(chǎn)品的性能和安全性。

• 應(yīng)用：切割、修整、校正、給半導(dǎo)體電路做標(biāo)記/ 薄膜(絕緣膜) 清潔與加工、液晶彩色濾光器的修復(fù)(校正錯(cuò)誤)。還可用作光學(xué)觀察剖面圖以便探針分析半導(dǎo)體故障。

• 可用于紅外光學(xué)系統(tǒng)*。應(yīng)用：晶體硅的內(nèi)部觀察；紅外光譜特征分析。* 需要紅外光源和紅外攝像機(jī)。

• 支持BF (亮視場(chǎng))、DF (暗視場(chǎng))、偏振光及微分干涉對(duì)比(DIC) 的型號(hào)(產(chǎn)品) 可用。

• 帶有孔徑光闌的柯勒照明是表面照明光學(xué)系統(tǒng)上的標(biāo)準(zhǔn)配件。

• 內(nèi)傾轉(zhuǎn)塔和超長工作距離的物鏡確保了顯微鏡下的高可操作性。

技術(shù)參數(shù)

型號(hào)	FS70	FS70-TH	FS70Z	FS70Z-TH	FS70L	FS70L-TH	FS70L4	FS70L4-TH
型號(hào)	FS70S	FS70-THS	FS70ZS	FS70Z-THS	FS70LS	FS70L-THS	FS70L4S	FS70L4-THS
聚焦調(diào)節(jié)	使用同心粗調(diào)(3.8mm/rev)和微調(diào)(0.1mm/rev)對(duì)焦輪(右/左)實(shí)現(xiàn)50mm行程范圍
圖像	正像
物鏡筒鏡	西登托夫型, 調(diào)節(jié)范圍: 51 - 76mm
視場(chǎng)數(shù)	24mm
俯角	-	0°-20°	-	0°-20°	-	0°-20°	-	0°-20°
透過率	固定(目鏡/TV＝ 50%/50%)	可調(diào)型(目鏡/管徑＝ 100%/0%： 0%/100%)	固定(目鏡/TV＝ 50%/50%)	可調(diào)型(目鏡/管徑＝100%/0%：0%/100%)
防護(hù)濾光片	-				內(nèi)置激光濾光片
管徑鏡頭	1x		1x-2x放大		1x
適用激光	-				1064/532/355nm		532/266nm
相機(jī)安裝端口	C-mount (適用適配器B選件)				使用帶TV接口的激光		C-mount開關(guān) (帶綠色濾光片轉(zhuǎn)換開關(guān))
照明系統(tǒng)(選件)	亮視場(chǎng)反射照明 (科勒照明、帶孔徑光闌) 12V100W亮視場(chǎng)反射照明、無極亮度調(diào)節(jié)、光纖長度
物鏡（用于觀察）	M Plan Apo, M Plan Apo SL, G Plan Apo
物鏡（用于激光切割）	-				M/LCD Plan NIR, M/LCD Plan NUV		M Plan UV
載重	14.5kg	13.6kg	14.1kg	13.2kg	14.2kg	13.5kg	13.9kg	13.1kg
重量（主機(jī)）	6.1kg	7.1kg	6.6kg	7.5kg	6.4kg	7.2kg	6.7kg	7.5kg
燈泡更換	標(biāo)準(zhǔn): 鹵素?zé)襞?/span> (12V, 100W) (517181)
燈泡更換	用于光纖傳導(dǎo)照明裝置 (12V, 100W) (378-700)