CVD石墨烯制备的制作过程
我们知道，石墨烯发现源于初是用透明胶带从石墨晶体上“粘”出一片石墨烯的，一提起石墨。*，直接剥离法制备石墨烯的产量低，工序复杂，不适宜实际的工业需求。随着化学气相沉积法的出现，石墨烯的工业化生产变成了可能。
CVD石墨烯制备的基本过程是：把基底金属箔片放入炉中，通入氢气和氩气或者氮气?；ぜ尤戎?000℃左右，稳定温度，保持20min左右；然后停止通入?；て澹耐ㄈ胩荚?如甲烷)气体，大约30min，反应完成；切断电源，关闭甲烷气体，再通入?；て迮啪患淄槠?，在保护气体的环境下直至管子冷却到室温，取出金属箔片，得到金属箔片上的石墨烯。
真空泵：如果选择管式炉，尤其是内径不超过60mm时，可以不用先抽真空，直接通气氛即可，但事实上实验人员为了安全性考虑，会加配真空泵，先抽真空再通惰性气氛，反复几次，用于除去空气或氧气。CVD管式炉一般配置普通的机械泵(10-0.01mbar)即可，如果有经费或者特别的研究需求，要求达到更高真空度(0.00001mbar)，可以再配置分子泵，但对于制备石墨烯而言，普通机械泵足矣。
理想的石墨烯转移技术应具有如下特点:
(1)保证石墨烯在转移后结构完整、无破损；
(2)对石墨烯无污染(包括掺杂)；
(3)工艺稳定、可靠，并具有高的适用性。对于仅有原子级或者数纳米厚度的石墨烯而言，由于其宏观强度低，转移过程中极易破损，因此与初始基体的无损分离是转移过程所必须解决的首要问题。
