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SDAJ-QV表面塵埃粒子計數(shù)器 測試規(guī)程
表面塵埃粒子計數(shù)器用于測量各種高潔凈度要求的產(chǎn)品，光學(xué)鏡片組件、液晶面板及超凈微環(huán)境受控的半導(dǎo)體機臺等表面津附著的塵埃粒子的粒徑大小及單位面積內(nèi)的數(shù)量。
本儀器的核心零部件（光學(xué)傳感器）及控制器等采用津萊特浩斯津生產(chǎn)的組件來保證該產(chǎn)品的測量精度。
本儀器外殼采用SUS316L不銹鋼制作，并經(jīng)表面鈍化處理。彩色觸摸液晶屏顯示操作，檢測光學(xué)傳感器采用津津整機，吸氣的氣泵為旋片式津氣泵，并可通過流量傳感器來自動調(diào)節(jié)氣泵的運行流量，使其保持在一個穩(wěn)定的檢測流量范圍內(nèi)，表面測試探頭根據(jù)津同類產(chǎn)品進行改良優(yōu)良，并配有防靜電軟管與主機連接，其于用排氣及吸氣過濾的囊式過濾器。內(nèi)部濾材為津津，從而保證儀器的檢測精度及運行穩(wěn)定性。
表面粒子計數(shù)器由三部分組成：
掃描取樣頭：取樣的同時可以提供一定壓力的吹掃氣流，可以集成操作控制器；
激光塵埃粒子計數(shù)器主機：主要由氣泵、傳感器、主控板、過濾器以及電池組成；
連接主機與掃描采樣頭的管道：包括取樣管道與吹掃管道。
技術(shù)參數(shù)：
檢測精度：0.3μm（0.1μm可定制）
檢測通度：0.3、0.5、0.7、1.0、3.0、5.0、7.0、10.0μm八通道
（可定制：0.1、0.15、0.2、0.25、0.3、0.5、0.7、1.0μm）
計數(shù)效率：0.3μm 50%±20%（第一粒徑通道） 0.5μm 100%±10%（第二粒徑通道）
采樣流量：28.3L/min ±5%，可通過觸摸屏控制自行調(diào)整
采樣時間：0～24h
重復(fù)性：相對標準偏差≤10%
粒徑津度：相對誤差≤10%
自凈時間：≤10 min
光源：激光二極管，經(jīng)過特殊工藝優(yōu)化理論壽命為20年（MTT）或壽命大于40000小時
顯示方式：觸摸顯示屏
允許采樣濃度：35000顆/L(塵埃顆粒粒徑不小于0.3um)，采樣空氣中不得含酸堿等腐蝕性氣體
外形尺寸260mm×260mm×260mm
重 量：7.5kg
功 耗：35W
電 源：16.8V內(nèi)置鋰電池/DC16-24V外部寬電壓供電
粒徑通道：0.3um、0.5um、1.0um、3.0um、5.0um、10.0um
采樣周期：3s、6s
數(shù)據(jù)存儲：5000組
表面材質(zhì)：SUS316L
連續(xù)工作時間：8小時
使用環(huán)境條件：溫度：10-35℃ 濕度：20-75RH 大氣壓：86-106kPa
零 計 數(shù)：≤10分鐘內(nèi)連續(xù)3分鐘為0
執(zhí)行標準：ISO/FDIS 21501-4:2018、GB/T 6167-2007、JJF 1190-2008
采樣口徑：1/4"Flaretek?
采樣溫度：32-302°F（0-150℃）
操作界面：彩色觸摸屏控制便于操作和設(shè)定，能同時顯示6個通道的數(shù)據(jù)，分辨率320×240，屏幕數(shù)據(jù)縮放功能
輸出方式：內(nèi)置熱敏打印機或485協(xié)議
電源：AC100～240V 50～60HZ
語言：中、英、德、日等多國語言